用于光刻机的石英玻璃防护罩
别让灰尘毁掉你的生产效率 在半导体制造和高端光学产品生产中,哪怕是一粒微小的灰尘,都可能带来灾难性后果——它足以毁掉整个晶圆。
如果你正在使用100级洁净室,那么你一定知道,普通的加热元件根本无法满足要求。因为这些元件在加热和冷却过程中会释放出有害物质或产生微小颗粒。正因如此,我们才会使用高纯度的...
中波石英加热管
在制造车间,光刻胶烘烤并不是热身。它是线宽控制的守门员。让晶圆上出现2°C的漂移,你的关键尺寸就会发生变化。中波石英加热管的设计旨在在漂移开始之前就将其阻止。 技术上重要的内容 中波石英在一个频段内发射,与光刻胶和聚合物薄膜良好耦合,因此你是在加热薄膜,而不是加热腔体壁。其效果是亚毫米级的热均匀性...