چرا لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا برای فرآیندهای تولید شما اهمیت دارند؟
بیایید درباره این موضوع صحبت کنیم.
اگر از روش سنتی انتقال حرارت از طریق هوا استفاده میکنید، میدانید که چه اتفاقی میافتد: ابتدا باید هوا را گرم کرد، سپس هوا ویفر را گرم میکند. این روش بسیار آهسته است؛ این تأخیر، زمان لازم برای انجام کارها را افزایش میدهد. در فرآیندهای تولید نیمههادیها، این «هزینه زمانی» به سرعت افزایش مییابد. در واقع، شما مجبورید منتظر بمانید تا دمای محیط ثابت شود.
لامپهای مادون قرمز پوشیده شده با طلا، این مرحله را حذف میکنند؛ آنها حرارت را مستقیماً از طریق تابش الکترومغناطیسی به سمت ویفر ارسال میکنند. این روش بسیار سریعتر است.
راز این موضوع، طلاست.
بیشتر لامپهای کوارتز، حرارت را در سراسر فضا پخش میکنند؛ اما وقتی یک لایه نازک طلا روی کوارتز قرار میگیرد، اوضاع تغییر میکند. طلا مانند یک آینه عمل کرده و حرارت را دقیقاً به جایی که لازم است، هدایت میکند.
به جای هدر دادن انرژی برای گرم کردن دیوارههای محفظه یا بدنه دستگاه، انرژی در جای مناسب متمرکز میشود. این امر باعث میشود که شما فقط برای گرم کردن ویفر هزینه پرداخت کنید، نه کل محفظه.
هوا واقعاً آهسته عمل میکند.
هوا یک رسانای بسیار ضعیف است؛ برای بهبود عملکرد، نیاز به فنهای قدرتمند و زمان زیادی برای گرم شدن دستگاه وجود دارد.
لامپهای مادون قرمز متفاوت هستند؛ آنها بلافاصله کار میکنند. میتوانید دما را در عرض چند ثانیه تغییر دهید، نه دقایق. این امر نه تنها زمان لازم برای فرآیند تولید را کاهش میدهد، بلکه به شما امکان میدهد فضای مورد نیاز برای دستگاه را کوچکتر کنید.
اما یک مشکل وجود دارد.
وقتی حرارت را به این شکل متمرکز میکنید، باید مراقب باشید؛ اگر فاصله لامپ تا ویفر مناسب نباشد، نقاط داغی ایجاد خواهد شد.
همچنین نمیتوانید به حسگرهای ضعیف اعتماد کنید؛ نیاز به کنترلکنندههای PID دارید که بتوانند با سرعت عملکرد لامپ هماهنگ شوند. اگر در اندازهگیریها تأخیر وجود داشته باشد، دما قبل از اینکه متوجه شوید، از محدوده مورد نظر خارج خواهد شد؛ و این باعث خراب شدن ویفر میشود.
یک نکته آخر: از سیمهای با کیفیت بالا برای اتصالات استفاده کنید؛ نمیخواهید که اختلالات الکترومغناطیسی، اندازهگیریهای دقیق شما را مختل کند.