دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا اهمیت دارد؟
اگر قصد گرم کردن ویفرهای سیلیکونی را دارید و لامپهای شما نمیتوانند تابش نور را منعکس کنند، در واقع در حال هدر دادن پول خود هستید.
فکر کنید: یک لوله کوارتز معمولی، تابش نور را به تمام جهات ارسال میکند. در یک سیستم عادی، نیمی از این انرژی در بدنه دستگاه از بین میرود؛ این یک هدررفت انرژی است. به همین دلیل از منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. به جای اینکه اجازه دهیم فوتونها به سمتهای مختلف پراکنده شوند، آنها را دوباره به سمت سطح ویفر هدایت میکنیم.
چرا طلا؟
دلیل آن، کارایی بالای طلا در منعکس کردن امواج مادون قرمز است. ما یک لایه نازک از طلا روی سطح پشتی کوارتز قرار میدهیم؛ زیرا طلا در منعکس کردن امواج مادون قرمز بسیار کارآمد است.
الومینیوم نیز گزینهای است، اما معمولاً با گذشت زمان اکسید شده و کارایی خود را از دست میدهد. طلا چنین نمیشود؛ حتی در دماهای بسیار بالا نیز پایدار میماند. در نتیجه، میتوانید گرمای بیشتری به ویفر برسانید، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد. این روش، روشی هوشمندانه برای استفاده از انرژی است.
مشکلات و راهحلها
مشکل اینجاست که وقتی این مقدار زیادی انرژی تمرکز میشود، ویفر خیلی سریع به دمای مورد نظر میرسد. اما این کار، فشار زیادی بر روی فیلامنت داخلی لامپ وارد میکند. اگر بخواهید حداکثر شدت نور را داشته باشید، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده (چه فنها و چه جکهای آبی) به درستی کار میکند. اگر الکترودها بیش از حد گرم شوند، لامپ زودتر از حد معمول خراب خواهد شد.
کاربرد در دنیای واقعی
ما این لامپها را طوری طراحی میکنیم که بتوانند در فضاهای تنگ استفاده شوند؛ جایی که هر میلیمتر اهمیت دارد.
هدف ساده است: داشتن یک الگوی حرارتی یکنواخت در سراسر ویفر؛ بدون وجود «نقاط سرد». با بازیافت تابش نوری که معمولاً از بین میرود، میتوانید فرآیند را بهتر کنید. علاوه بر این، هزینههای برقی شما نیز کاهش مییابد.
این روش، روشی ساده برای استفاده بهینه از هر وات انرژی است.