کاهش انتشار کربن در کارخانههای تولید تراشه: چرا ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز روی آوردهایم؟
امروزه همه درباره بیخطرسازی فعالیتهای صنعتی در زمینه انتشار کربن صحبت میکنند، اما برای کسانی که در کارخانههای تولید تراشه کار میکنند، این موضوع چالشبرانگیز است. روشهای قدیمی گرمایشی که سالهاست از آنها استفاده میکنیم، بسیار پرهزینه هستند.
به همین دلیل، ما به سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز روی آوردهایم.
تصور کنید به جای گرم کردن کل اتاق فقط برای گرم کردن یک فنجان قهوه، از لیزر استفاده کنیم. در این روش، انرژی را صرف گرم کردن کل اتاق نمیکنیم؛ بلکه آن انرژی را مستقیماً به ویفر ارسال میکنیم. این روش تمیزتر، سریعتر و بسیار کارآمدتر است.
جادوی فرآیندهای حرارتی سریع
ما این سیستمها را برای انتقال مقدار زیادی گرما طراحی کردهایم؛ این سیستمها این کار را بلافاصله انجام میدهند. با استفاده از رشتههای تنگستن درون لولههای کوارتز، میتوانیم دما را در مدت زمان کوتاهی افزایش دهیم.
دیگر نیازی نیست منتظر چرخههای طولانی گرمکردن باشیم.
آن گرمای اضافی که در کورههای قدیمی ایجاد میشود، در واقع هدررفت انرژی و پول است. در روش مادون قرمز، این مشکل وجود ندارد. علاوه بر این، میتوانیم دقیقاً کنترل کنیم که گرما به کجا میرود؛ اگر فقط یک بخش از ویفر نیاز به گرما داشته باشد، فقط آن بخش گرم خواهد شد.
جزئیات مهم و معایب
البته، این سیستمها به این سادگی کار نمیکنند. این سیستمها نیاز به توان بالایی دارند؛ هنگامی که فرآیندهایی مانند فعالسازی مواد یا حرارتدادن انجام میشود، تراکم گرما بسیار زیاد میشود.
نمیتوانید فقط آن را روشن کنید و فراموش کنید.
اگر سیستمهای خنککننده مناسبی نداشته باشید، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. تابشهای بازتابی و انباشت گرما میتواند لامپها را در عرض چند ساعت از کار بیرون ببرد. این سیستمها ابزارهایی با عملکرد بالا هستند؛ بنابراین نیاز به نگهداری مناسب نیز دارند.
برای جلوگیری از خرابی، از کوارتزهای محکم استفاده میکنیم تا لولهها تحت فشار خم نشوند. همچنین، چون هیچکس دوست ندارد شش ساعت وقت خود را صرف تعمیرات ساده کند، کانکتورها را ساده طراحی کردهایم؛ میتوان آنها را در زمانهای مناسب تعویض کرد و دوباره به کار ادامه داد.
تأثیر این روش بر کارخانههای سبز
در نهایت، این روش به کاهش مصرف انرژی کمک میکند. با حذف جرم حرارتی زیاد موجود در تجهیزات قدیمی، دیگر نیازی به مصرف انرژی زیاد برای رسیدن به دمای کاری نیست. همچنین، زمان سرد شدن تجهیزات نیز کمتر میشود.
برای مهندسان، این روش به معنای کاهش مصرف برق و کاهش زمان تولید است. این روش راهی است برای عبور از بازرسیهای مربوط به کارخانههای سبز، بدون نیاز به کاهش سرعت تولید. این روش واقعاً مؤثر است.