دستیابی به گرمای بیشتر در محل مناسب: فرآیند خشک کردن ویفرها
اگر شما نیز از خطوط تولید برای خشک کردن ویفرها استفاده میکنید، میدانید که چه چالشهایی وجود دارد. شما به یک پروفایل دمایی عالی در سراسر سطح ویفر نیاز دارید، اما نمیخواهید هزینه برق زیادی صرف این کار کنید.
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز گرمای زیادی را در تمام جهات پخش میکنند. بدون وجود یک بازتابنده مناسب، در واقع شما فقط بدنه دستگاه را گرم میکنید، نه خود ویفر. در واقع، نیمی از انرژی شما هدر میرود، حتی قبل از اینکه به ویفر برسد.
چرا ما از طلا استفاده میکنیم؟
میبینید که برخی افراد از آلومینیوم استفاده میکنند، چون ارزانتر است. اما آلومینیوم انرژی زیادی را جذب میکند و وقتی دما بالا میرود، عملکردش کاهش مییابد.
ما از روکشهای طلا با خلوص بالا استفاده میکنیم. چرا؟ چون طلا در بازتاب نور مادون قرمز بسیار مؤثر است؛ تقریباً تمام انرژی را دوباره به سمت ویفر هدایت میکند.
این به این معناست که برای هر وات انرژی دریافتی، گرمای بیشتری روی سطح ویفر ایجاد میشود. علاوه بر این، پرتو نور به طور یکنواخت پخش میشود؛ بنابراین هیچ نقطه داغی وجود ندارد و ویفرها دچار تغییر شکل نمیشوند.
شکلهای هوشمند، عمر طولانیتر
مسئله فقط مربوط به مواد نیست؛ بلکه مربوط به شکل بازتابندهها نیز هست. ما این بازتابندهها را به گونهای طراحی میکنیم که انرژی را در یک منطقه مشخص و کنترلشده متمرکز کنیم.
وقتی چگالی گرما افزایش مییابد، چیز فوقالعادهای اتفاق میافتد: میتوانید توان لامپها را کاهش دهید.
شما همان سرعت خشک کردن را خواهید داشت، اما لامپها کمتر کار میکنند. این امر باعث کاهش فشار بر روی فیلامنتها میشود؛ بنابراین نیاز به تعویض لامپهای خراب نیز کمتر میشود.
مزایا و معایب
طلا ارزان نیست؛ سرمایهگذاری اولیه آن بیشتر از فولاد یا آلومینیوم است.
همچنین باید مراقب آنها باشید؛ اگر گرد و غبار یا مواد شیمیایی روی سطح طلا تجمع کند، نقاط داغی ایجاد میشود و انرژی به جای بازتاب، جذب میشود. این امر باعث پوستهپوسته شدن روکش طلا میشود.
حتماً آنها را تمیز نگه دارید. اگر از برنامه تمیزکاری منظمی استفاده کنید، عملکرد آنها به خوبی حفظ خواهد شد.
یک نکته دیگر: از آنجایی که گرمای زیادی روی ویفر تمرکز میشود، ممکن است دمای اتاق کمی بالاتر از حد معمول باشد. مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما میتواند این بار اضافی را تحمل کند.