خشککن FOUP (پود کاوردار با ورودی جلویی)

در فرآیند لیتوگرافی، FOUP همچنان حاوی لایه نازکی از آب است؛ این لایه در نتیجه شستشوی قبلی باقی مانده است. اگر فرآیند گرم کردن به درستی انجام نشود،...