Kohlenstoffeinsparung in den Fertigungsanlagen: Warum zertifizierte Infrarotlampen wirklich wichtig sind
Seien wir ehrlich: Halbleiterfabriken verbrauchen eine Menge Energie. Das ist besonders deutlich zu sehen in den Schritten der Aushärtung und Trocknung. Wenn man weiterhin auf herkömmliche Konvektionsöfen angewiesen ist, zahlt man im Grunde dafür, dass ein großer Raum mit Luft aufgeheizt wird – nur damit einige Wafern die richtige Temperatur erreichen. Das ist eine riesige Verschwendung.
Durch den Einsatz zertifizierter Infrarotlampen ändert sich die ganze Logik des Prozesses. Anstelle dazu, die Luft um das Produkt herum aufzuwärmen, strahlen die Infrarotlampen Energie direkt auf die Wafer oder Substrate ab.
Es handelt sich dabei um eine grundlegende Veränderung in der Art und Weise, wie wir mit Wärme umgehen.
Hören Sie auf, die Luft aufzuwärmen
Herkömmliches Heizen ist langsam. Man muss stundenlang warten, bis der Ofen schließlich die gewünschte Temperatur erreicht hat. Das ist frustrierend und teuer.
Mit Infrarotsystemen verwenden wir Kurzwellen- oder Mittelwellenemitter, die gezielt auf die spezifischen Absorptionsbänder des Fotoresists oder der Beschichtung abgestimmt sind. Durch das Umlegen eines Schalters erreicht man bereits nach Sekunden die gewünschte Temperatur.
Da keine Energie mehr für die Aufheizung von Luft verschwendet wird, sinkt auch der Kohlenstoffausstoß. Es ist einfacher, schneller – und zugleich gut für den Planeten.
Die Details bezüglich des Wärmeflusses
In einer Fertigungsanlage reicht „gut genug“ nicht aus – es braucht Präzision. Deshalb verwenden wir Quarzkörper. Sie können extreme thermische Belastungen aushalten, ohne zu biegen oder sich zu verformen. Wir legen außerdem Wert auf Zertifizierungen, denn sie garantieren, dass die spektrale Leistung von einem Ende der Lampe zum anderen konstant bleibt.
Warum ist das wichtig? Denn wenn sich die Wellenlänge ändert, wird die Aushärtungsgeschwindigkeit unzuverlässig. Es entstehen „Kältepunkte“, und plötzlich muss man ganze Chargen teurer Wafer entsorgen. Das möchte niemand.
Eines sollte man beachten: Diese Lampen strahlen eine hohe Intensität ab. Das bedeutet, dass der Gehäusebereich sehr heiß wird – wirklich sehr heiß. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren ordnungsgemäß eingestellt sind. Wenn Sie bei der Kühlung sparen, können die Kabel beschädigt werden oder die Reflektoren zerstört werden – dann sind Sie wieder am Anfang.
Eine wirklich nachhaltige Fabrik schaffen
Der Bau einer nachhaltigen Fabrik bedeutet nicht einfach nur den Austausch einer Glühbirne. Es geht darum, wie man die Wärme kontrolliert. Wir kombinieren diese Lampen mit PID-Reglern und Sensoren, die sofort reagieren. Dadurch wird verhindert, dass die Temperatur zu stark ansteigt. Man strahlt nur genau die Menge an Strahlung ab, die für die jeweilige Schichtdicke benötigt wird. Nicht mehr und nicht weniger.
Es funktioniert einfach.