Warum Ozonfreie IR-Härtung für Halbfertigprodukte sinnvoll ist
Wenn Sie in einer Halbleiterfabrik arbeiten, kennen Sie die Regeln bereits. Die Anforderungen bezüglich bleifreier und umweltfreundlicher Verfahren sind keine bloßen Empfehlungen – sie sind Gesetze.
Aber es gibt ein Problem: Viele herkömmliche Heizmethoden, wie zum Beispiel Standard-IR-Lampen, erzeugen Ozon. Da sie Strahlung im Bereich von 185 nm bis 254 nm abgeben, wandeln sie das Sauerstoffgas in der Luft in ein korrosives Gas um. Das ist problematisch: Ozon zerstört empfindliche Komponenten und zwingt einen dazu, viel Geld in leistungsstarke Belüftungssysteme zu investieren, um die Luft atembar zu halten und die Ausrüstung intakt zu erhalten.
Wie wir das Ozon beseitigen
Wir haben eine Lösung gefunden, bei der die Wärmebehandlung weiterhin möglich bleibt. Wir legen eine spezielle Filterbeschichtung auf die Quarzgehäuse der Lampen. Das ist wie eine Art „High-Tech-Sonnenbrille“ für die Lampe – sie blockiert das VUV-Spektrum, das für die Ozongenerierung verantwortlich ist, lässt aber die benötigten Wellenlängen durch. Dadurch bleibt die hohe Wärmeintensität erhalten, doch ohne die Probleme durch chemische Stoffe. Da man nicht mehr mit einem Haufen korrosiver Gase zu kämpfen hat, können diese sperrigen Ozonentfernungsanlagen weggelassen werden. Dadurch wird der Platzbedarf der Ausrüstung reduziert – ein echter Gewinn.
Schnelle Erwärmung, weniger Stress
Bei der IR-Härtung wird die Wärme direkt auf das Substrat übertragen. Anstatt einen ganzen Ofenraum zu erwärmen und darauf zu warten, dass die Luft warm wird, strahlen diese Lampen direkt auf das Substrat. Wir verwenden hochdichte Filamente, sodass die Erwärmung nahezu sofort stattfindet. So erreicht man die gewünschten Temperaturen in Sekunden. Das ist großartig, denn dadurch bleibt das „thermische Budget“ des Wafer gering. Keine Verformungen, keine ungewollte Diffusion von Stoffen – einfach nur saubere, schnelle Erwärmung.
Ein paar Hinweise zur Technik
Es gibt zwar ein Gegenargument: Diese ozonfreien Lampen erzeugen eine sehr hohe Wärmeintensität. Wenn die Lampen zu dicht beieinander platziert werden, kann das problematisch sein. Wenn die Lampe überhitzt, entstehen Probleme. Stellen Sie sicher, dass Ihre Kühlventilatoren und Wärmeableiter gut funktionieren. Wenn der Luftstrom zu schwach ist, kann der Quarzkörper zerbrechen und die Lebensdauer der Lampe wird verkürzt. Es lohnt sich, hier alles genau zu überprüfen.
Praktische Anwendung
Egal ob es darum geht, bleifreies Löten durchzuführen oder Photoresist zu trocknen – diese Lampen passen einfach an die Stelle, an der früher die alten Heizgeräte standen. Sie helfen dabei, die Umweltstandards einzuhalten, indem sie den Stromverbrauch senken und schädliche Emissionen vermeiden. Außerdem können sie einfach in Ihre vorhandenen PID-Controller eingebunden werden, damit die Temperaturen genau dort gehalten werden, wo sie benötigt werden. Einfach.