In der Fertigungshallen ist die thermische Drift bei der Verarbeitung von Photoresisten kein theoretisches Problem. Sie äußert sich in Schwankungen der Linienbreite, Adhäsionsproblemen sowie einem Rückgang der Ausbeute – und diese Probleme verschlimmern sich von Charge zu Charge. Man benötigt eine Heizquelle, die zum Prozess passt – und nicht gegen ihn wirkt. Unsere RTP-Lampen bieten genau das.
Wir verwenden Kurz- und Mittelwellen-Infrarotstrahler im Quarz-Halogendesign, die eine schnelle und effiziente Energieübertragung ermöglichen. Dadurch wird eine Temperaturuniformität auf Waferebene erreicht – innerhalb von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafers. Zudem wird ein wiederholbares Heizprofil gewährleistet, das den thermischen Anforderungen entspricht. So sind sowohl das sanfte als auch das intensive Heizen wiederholbar: Die Entfernung von Lösungsmitteln wird kontrolliert, der Filmstress bleibt stabil und die Kontrolle der kritischen Abmessungen bleibt im Rahmen der Spezifikationen. Das System wird in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt – dort entstehen keine Partikel. Zudem gibt es eine kontinuierliche Überwachung sowie Materialien mit geringer Ausgasung.
Das ist der Grund, warum dieses System in der Praxis funktioniert.
Beim Trocknen der Wafers sorgt die schnelle, kontaktlose Erwärmung der Lampen dafür, dass das Feuchtigkeit entfernt wird, ohne dass die Oberfläche beschädigt wird. Bei der Lithografie ermöglicht die Lampe eine präzise Temperaturregelung, wodurch Defekte reduziert werden. Für das Aushärten der Schichten liefert die Lampe eine konstante Leistung – mehr Wafers pro Stunde, ohne dass die Ausbeute leidet.
Der Energieverbrauch sinkt, da die Energie direkt an den Film und das Wafer abgegeben wird – anstatt dazu verwendet zu werden, den Raum zu erhitzen. Die Zuverlässigkeit zeigt sich in Betriebszeiten von mehr als 5.000 Stunden mit weniger als 5% Leistungsabfall – dadurch wird unbewusster Stillstand nahezu vermieden.
Ein paar praktische Hinweise:
Bei der Installation muss die Bauform der Lampe sowie der Anschluss an das RTP-Gerät passen. Zudem muss die optische Ausrichtung überprüft werden – andernfalls wird die Temperaturuniformität beeinträchtigt. Die Lampe funktioniert am besten in einer sauberen, trockenen Umgebung – außerdem sollten die Strahler regelmäßig überprüft werden.
Es ist zwar schwierig, aber die Lampe verträgt plötzliche Spannungsänderungen nicht. Schützen Sie also die Stromversorgung – damit bleibt der Betrieb ungestört weiterlaufen.