Mehr Wärme genau dort, wo sie gebraucht wird: Aushärtung der Wafer
Wenn Sie eine Anlage zur Aushärtung von Wafern betreiben, kennen Sie das Problem: Man benötigt ein perfektes Temperaturprofil auf der gesamten Oberfläche des Substrats – doch man möchte dabei nicht zu viel Energie verbrauchen.
Das Problem ist folgendes: Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Ohne einen effektiven Reflektor wird die Maschine selbst erhitzt, anstatt das Produkt. So wird bereits vor dem Kontakt mit dem Wafer die Hälfte der Energie verschwendet.
Warum wir auf Gold setzen
Manche verwenden Aluminium, weil es billiger ist. Doch Aluminium absorbiert zu viel Energie und versagt, wenn es wirklich heiß wird. Wir verwenden hochreine Goldbeschichtungen. Warum? Weil Gold hervorragend dazu geeignet ist, Infrarotstrahlung zurückzuschicken. Dadurch gelangt mehr Wärme auf die Oberfläche des Wafer – pro eingesetztem Watt. Zudem wird die Wärme gleichmäßig verteilt. Es entstehen keine Hotspots, und die Wafer verformen sich nicht. So erfolgt eine saubere und gleichmäßige Aushärtung.
Intelligente Formen – längere Lebensdauer
Es geht nicht nur um das Material, sondern auch um die Form der Reflektoren. Wir biegen diese Reflektoren so, dass die Strahlung in einem eng begrenzten Bereich konzentriert wird. Dadurch kann die Temperatur erhöht werden – und man kann die Leistung der Lampen senken. Die Aushärtungszeit bleibt gleich, doch die Lampen müssen weniger arbeiten. Das reduziert den Stress auf die Glühfäden – man muss die defekten Lampen also seltener austauschen.
Die Realitäten
Gold ist natürlich nicht billig. Es handelt sich dabei um eine höhere Anfangsinvestition im Vergleich zu poliertem Stahl oder Aluminium. Zudem muss man darauf achten, dass die Goldoberfläche sauber bleibt. Wenn sich Staub oder chemische Rückstände darauf ansammeln, entstehen Hotspots, wo die Energie statt reflektiert zu werden, absorbiert wird. Deshalb ist es wichtig, die Reflektoren regelmäßig zu reinigen. Dann funktionieren sie weiterhin einwandfrei.
Noch etwas zu beachten: Da so viel Wärme auf den Wafer gerichtet wird, kann die Kammer etwas wärmer werden als normal. Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem mit dieser zusätzlichen Belastung zurechtkommt.