Reduzierung des Kohlendioxidausstoßes in der Halbfertigungsphase: Warum wasserdichte Infrarotlampen tatsächlich funktionieren
Wenn Sie Ihre Fertigungshallen in „grüne Fabriken“ umwandeln möchten, haben Sie sicherlich bemerkt, dass bei den Spül- und Trocknungsvorgängen viel Energie einfach verschwendet wird. Die meisten Betriebe setzen weiterhin auf große Konvektionsöfen oder energieintensive Heißluftgebläse. Das ist eine enorme Verschwendung von Energie.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden. Anstatt die gesamte Luftmenge in der Kammer zu erhitzen, verwenden wir wasserdichte Infrarotlampen. Diese strahlen ihre Energie direkt auf die Feuchtigkeit auf der Waferoberfläche ab. Dadurch ist der Prozess effizienter und schneller.
Umgang mit der Feuchtigkeit
Bei den Spülvorgängen herrscht eine hohe Feuchtigkeit – wirklich sehr hoch. Wenn man dort eine normale Lampe verwendet, funktioniert diese nicht mehr. Deshalb verwenden wir spezielle Abdichtungen sowie wasserdichte Gehäuse. Wir müssen die Feuchtigkeit unbedingt von den elektrischen Kontakten fernhalten – sonst entstehen viele Ausfälle. Wir nutzen Kurzwell-Infrarotlampen, da sie die Wärme fast sofort übertragen. So erreicht das Wafer bereits nach wenigen Sekunden die Verdampfungstemperatur. Fertig.
Aber man muss auch auf die Leistung der Lampen achten. Wenn man einen kleineren Trocknungstunnel haben möchte, braucht man eine höhere Leistungsdichte. Man sollte jedoch bedenken, dass zu hohe Leistungen in einem kleinen Raum viel Wärme erzeugen. Wenn die Kühlventilatoren nicht richtig funktionieren, können die Steuerelektronikkomponenten beschädigt werden.
Auswahl der richtigen Geräte
Standardquarztube können diese Bedingungen einfach nicht bewältigen. Aufgrund der Feuchtigkeit und der thermischen Belastungen brechen sie oder versagen bereits nach kurzer Zeit. Wir verwenden daher Quarztuben mit dicken Wänden oder lackierte Tuben, damit alles stabil bleibt. Zudem verschließen wir die Anschlüsse sorgfältig, damit es keine Oxidationen oder Zufallskurzschlüsse gibt.
Wir achten außerdem sehr auf die Emissivität der Lampen. Durch entsprechende Anpassungen der Beschichtung kann man sicherstellen, dass die Wellenlänge zur Waferoberfläche sowie zum Spülmittel passt. Dadurch geht die Energie direkt ins Wasser – anstatt die Wände der Maschine zu erwärmen.
Vorteile für Ihren Kohlenstofffußabdruck
Der größte Vorteil: Keine Wartezeit mehr. Bei Systemen mit Gebläsen dauert es ewig, bis die gewünschte Temperatur erreicht ist – und solche Systeme verbrauchen dabei ständig Energie. Infrarotlampen hingegen schalten sich sofort ein. Sie verbrauchen nur dann Energie, wenn tatsächlich ein Wafer vorhanden ist. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch sie verhindert den unnötigen Energieverbrauch, der so viele herkömmliche Geräte plagt.