停止在晶圆加热器上浪费电能
在半导体制造过程中，浪费电能不仅会增加成本，还表明设计存在缺陷。在为晶圆表面加热时，我们需要的不仅仅是“更多的热量”，而是让这些能量准确地传递到目标位置。
因此，我们使用镀金反射器。这样一来，从加热元件发出的每一瓦特能量都能准确照射到目标上。
为什么选择黄金？
普通的反射器会将红外能量散射到各个方向。而黄金则有所不同——它在整个红外光谱范围内都具有极高的反射率，也就是说，它不会吸收热量，而是将辐射能量反射回晶圆上。这样就能实现更精准的温度控制。最棒的是，无需提高电源的功率，就能更快达到目标温度。
线路连接的问题
接下来是线路连接的问题。我们使用聚四氟乙烯绝缘的电线，因为其他材料根本无法承受如此高的温度。如果使用PVC或硅胶材质的电线，它们会熔化或释放有害气体，而这显然会污染洁净室的环境。聚四氟乙烯则具有化学稳定性，能够承受高温，从而确保电路连接始终稳定可靠。
需要权衡的因素
不过，这种做法也有其弊端。当热量如此集中时，就会产生极大的温度梯度。如果晶圆的位置稍微偏离中心几毫米，就容易出现局部过热的情况。这要求我们必须精确控制灯的位置。同时，还需要确保冷却风扇能够有效处理反射器周围产生的热量。
归根结底，我们的目标是尽可能提高晶圆表面的温度，同时降低能耗。关键在于如何更好地利用现有的照明设备，而不是增加更多灯具。