停止在制造过程中浪费热量
大多数加热元件就像灯泡一样，会将能量向各个方向散发。在半导体制造工厂中，这显然是个问题。因为当你试图加热晶圆时，实际上却让设备内部也变得过热，这就相当于白白浪费了能源。更糟糕的是，这样的设备会变成巨大的散热器，甚至可能伤到操作人员。
我们通过使用定向红外技术来解决这个问题。
其工作原理
普通灯泡会将热量向四周散发。而我们则利用反射器和选择性发射器，将红外能量精准地照射到晶圆上。这样一来，设备的外壳就不会吸收过多的多余热量。结果就是，即使设备内部温度很高，外壳仍然保持凉爽。
正确控制温度
不能简单地用高功率的灯泡来加热晶圆，因为如果灯泡发出的能量与晶圆能够吸收的能量不匹配，那么这些能量就会从晶圆表面反弹出来，然后击中设备的内壁。因此，我们需要选择特定波长的灯泡，这样才能确保晶圆能够有效吸收热量。此外，这样的设计也有利于优化设备的HVAC系统，避免热量泄露的问题。
需要注意的问题及解决方法
不过，定向加热并非万能的解决方案。因为当热量集中在某一点时，该点的温度会非常高。如果定位有偏差，哪怕只有几毫米，也会导致晶圆上出现热点。所以，灯泡的安装位置必须非常精确，不能有任何误差。如果你不确定自己的定位是否准确，可以用热成像仪来检测设备外壳的温度。如果外壳温度达到45摄氏度或更高，那就说明有热量泄露的问题了。使用定向红外技术可以确保温度保持在理想范围内，从而避免人员受伤的风险。