광학 웨이퍼 가열기

라인 위에서 300mm 웨이퍼는 포토레지스트 프로파일을 고정하는 소프트 베이크 단계를 기다리고 있다. 2°C의 편차만으로도 치수에 치명적인 영향을 미쳐 전체를 불량 처리할 수 있다. 이러한 상황이 발생하지 않도록 광학 웨이퍼 처리용 히터를 설계했다. 다음은 내부에서...