AFM(원자력 현미경) 히터

AFM 스테이지의 온도 변동은 단순히 측정 노이즈로 나타납니다. 반도 정도의 온도 변동만으로도 패턴의 위치가 왜곡되고, 포토레지스트의 프로파일에 오류가 생기며, 양질의 제품들도 재작업을 해야 하는 상황이 발생합니다. 우리는 프로브와 샘플을 설정된 온도로 유지할 수 있...