선형 적외선 가열 기구

300mm 웨이퍼를 처리할 때, 스케줄러는 베이크 프로파일에 약간의 오차가 생겼다고 해서 작동을 멈추지 않습니다. 반도도 정도의 오차만 있어도 선폭이 변하게 되고, 이는 결국 폐기물이 발생하는 결과를 초래합니다. 대류식 오븐은 클린룸 공간과 처리 시간 측면에서 문제를...