حفظ ایمنی: استفاده از لامپهای مادون قرمز در تمیزکاری ویفرهای شیمیایی
هنگام کار با ویفرها در فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی، در واقع با حلالهای متخلخل و قابل اشتعال سروکار دارید. در چنین محیطی، یک لامپ معمولی مادون قرمز نه تنها ابزاری برای کار، بلکه منبع خطر نیز هست. یک جرقه کوچک یا یک نقطه داغ روی ترمینالهای لامپ، میتواند منجر به انفجار جدی شود.
برای جلوگیری از این مشکل، از لامپهایی استفاده میکنیم که کاملاً درون ظروف مهر و موم شده قرار دارند.
نحوه عملکرد این سیستم
در این روش، عناصر گرمایشی مادون قرمز را درون لولههای کوارتز با خلوص بالا قرار میدهیم؛ سپس این لولهها را درون ظروف مقاوم در برابر مواد شیمیایی و انفجار قرار میدهیم. این سیستم، مانند یک سیستم دو لایه عمل میکند؛ این لایه محافظتی، از تماس بخارات قابل اشتعال با سطح لامپ جلوگیری میکند. همچنین، از بستهبندی هرمتیک برای پوشش ترمینالها استفاده میکنیم تا هیچ چیزی وارد داخل لامپ نشود.
اما موضوع فقط مربوط به جلوگیری از ورود گازها نیست؛ ترمینالهای الکتریکی نیز میتوانند منبع مشکلات باشند. ما از کانکتورهای محکم و عایقبندی شده برای جلوگیری از ایجاد جرقه استفاده میکنیم. اگر این لامپها را در ابزارهایی که پر از بخارات شیمیایی هستند استفاده کنید، نمیتوانید از مواد ارزانقیمت استفاده کنید؛ باید از موادی استفاده کنید که در برابر بخارات اسیدی مقاوم باشند.
تعادل بین گرما و ایمنی
البته، اضافه کردن این لایههای محافظتی، باعث تغییر در نحوه انتقال گرما میشود. کارایی گرمایشی لامپ کمی کاهش خواهد یافت؛ اما این موضوع چندان مهم نیست. احتمالاً نیاز خواهید داشت که تنظیمات PID لامپ را تغییر دهید یا توان لامپ را افزایش دهید تا زمان رسیدن به دمای مورد نظر، به حد مطلوب برسد.
حفظ عملکرد لامپ
مزیت واقعی این روش، پایداری لامپ است. معمولاً، مواد شیمیایی سطح کوارتز را تخریب میکنند و باعث ایجاد نقاط داغ میشوند؛ این امر باعث خراب شدن زودهنگام لامپ میشود. اما این ظروف محافظتی، لامپ را تمیز نگه میدارند؛ در نتیجه، لامپها مدت زمان بیشتری کار خواهند کرد.
یک نکته مهم: مطمئن شوید که فنهای خنککننده، قادر به مقابله با گرمای اضافی ایجاد شده توسط این ظروف باشند؛ در غیر این صورت، خود ظروف ممکن است دچار گرمای بیش از حد شوند.