在制造车间里，150毫米厚的SiC晶圆被放置在光刻设备中，准备进行光阻烘烤处理。哪怕温度出现几度的波动，都可能影响晶圆的尺寸精度，从而带来巨大的成本损失。因此，加热灯不能仅仅是简单的热源，它必须具备精确控温的功能。 关键在于其内部结构 我们设计的SiC晶圆处理用加热灯，采用了石英封装的短波红外卤素...

在制造车间里，光刻胶的烘烤参数并非可以随意选择的——它们决定了产品能否成功生产出来，还是不得不报废。如果软烘或硬烘过程中的温度偏差达到2°C，就可能导致光刻图样出现偏差，进而引发问题，使整批产品无法使用。我们设计的石墨烯红外灯就是为了消除这种不确定性。 从技术层面来看，真正重要的是什么？ 这些红外...

线边上，那片300mm晶圆正等待软烤工序——该步骤锁定光刻胶的轮廓。温度漂移仅2°C就足以导致关键尺寸失控，整批晶圆报废。我们设计的光学晶圆处理加热器，旨在彻底避免这种情况发生。 以下是设备核心的关键点。 该装置依靠石英增强腔体内的短波红外（SWIR）发射器，实现晶圆表面±0.1°C的热均匀性。这...