ในโรงงานผลิตชิป ปัญหาเรื่องความแปรปรวนของอุณหภูมิในกระบวนการใช้สารโฟโตรีซิสต์ไม่ใช่เรื่องที่สามารถมองข้ามได้ เพราะมันจะส่งผลให้เกิดความแปรปรวนของความหนาของชั้นสารเคลือบ ปัญหาเรื่องการเกาะตัวของสารเคลือบ และการลดลงของประสิทธิภาพการผลิต ซึ่งปัญหาเหล่านี้จะเพิ่มมากขึ้นในแต่ละรอบการผลิต ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีแหล่งพลังงานที่สามารถช่วยในกระบวนการผลิตได้ ไม่ใช่มาขัดขวางกระบวนการผลิต หลอดไฟ RTP ของเราก็ตอบโจทย์นี้ได้อย่างดี
เราใช้หลอดไฟที่ปล่อยรังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นและคลื่นกลาง ซึ่งมีโครงสร้างแบบควอตซ์-ฮาโลเจน ซึ่งช่วยให้การถ่ายโอนพลังงานเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ สิ่งนี้ช่วยให้อุณหภูมิของแผ่นชิปมีความสม่ำเสมออยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้งแผ่นชิป และยังช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ การอบชิปจึงสามารถทำได้อย่างสม่ำเสมอ การกำจัดสารละลายก็สามารถควบคุมได้ดี ความเครียดของชั้นสารเคลือบก็อยู่ในระดับที่สม่ำเสมอ และการควบคุมขนาดของชิปก็อยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ ระบบนี้สามารถทำงานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ขึ้นมาเลย และยังมีระบบตรวจสอบในขณะที่ระบบทำงาน และวัสดุที่ใช้ก็มีคุณสมบัติที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซออกมา
นี่คือเหตุผลว่าทำไมระบบนี้ถึงสามารถใช้งานได้จริงในสภาพแวดล้อมการผลิตจริง
ในการอบแห้งแผ่นชิป หลอดไฟจะช่วยขจัดความชื้นออกไปได้อย่างรวดเร็วโดยไม่ทำลายพื้นผิวของแผ่นชิป ในขั้นตอนการพิมพ์แผ่นชิป หลอดไฟจะช่วยควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ซึ่งช่วยลดข้อบกพร่องบนขอบของแผ่นชิปได้ สำหรับการอบแผ่นชิปให้แข็งตัว หลอดไฟก็ช่วยให้สามารถผลิตแผ่นชิปได้มากขึ้นในแต่ละชั่วโมง โดยไม่ส่งผลต่อประสิทธิภาพการผลิต
การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะพลังงานจะถูกนำไปใช้กับแผ่นชิปโดยตรง ไม่ใช่ไปใช้ในการทำให้ห้องอบมีอุณหภูมิสูงขึ้น ความน่าเชื่อถือของระบบนี้ก็สูงมาก เพราะสามารถทำงานได้นานกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของประสิทธิภาพการผลิตเพียง 5% เท่านั้น ทำให้เวลาที่ระบบหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดมีน้อยมาก
มีข้อควรระวังบางอย่างด้วย นั่นคือ การติดตั้งหลอดไฟจำเป็นต้องให้ขนาดของหลอดไฟและขั้วต่อสอดคล้องกับเครื่องมือ RTP ของคุณ และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าเส้นทางการส่งแสงเป็นไปอย่างถูกต้อง หากไม่เป็นเช่นนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง หลอดไฟจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่ออยู่ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและแห้ง และต้องมีการตรวจสอบหลอดไฟเป็นประจำด้วย
แม้ว่าจะเป็นเรื่องที่ยาก แต่หลอดไฟนี้ก็ไม่ชอบการเปลี่ยนแปลงของแรงดันไฟฟ้าอย่างกะทันหัน ดังนั้นควรปกป้องแหล่งจ่ายไฟไว้ เพื่อให้ระบบสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง