บนพื้นเวเฟอร์ การลอยตัวความร้อนระหว่างการอบพรีฟิล์มฟอตโต้เรสซิสต์หรือการอบแห้งเวเฟอร์ไม่ใช่แค่ผลกระทบต่อความเร็วในการผลิต แต่ยังทำให้เกิดข้อบกพร่องบนเวเฟอร์—ข้อบกพร่องที่คุณไม่สามารถยอมรับได้
ซ็อกเก็ตหลอดอินฟราเรดสำหรับเครื่องมือเวเฟอร์ถูกสร้างขึ้นเพื่อทำงานหนึ่งอย่าง: รักษาอุณหภูมิในการผลิตให้คงที่ ซ้ำได้ และอยู่ภายในงบประมาณความร้อนของฟิล์ม
สิ่งที่สำคัญภายใน
เราใช้เครื่องส่งสัญญาณอินฟราเรดคลื่นสั้นคู่กับซ็อกเก็ตควอตซ์และรูปทรงสะท้อนที่ให้ความร้อนในจุดที่คุณต้องการ—รวดเร็วและมีทิศทาง—โดยไม่มีจุดร้อน ซึ่งทำให้คุณได้ความสม่ำเสมอบนเวเฟอร์ภายใน ±0.1°C ทั่วทั้งโซนอบ การปรับขึ้นทำได้อย่างควบคุม ดังนั้นตัวทำละลายจะถูกจัดการให้สะอาดระหว่างการอบนุ่ม และโปรไฟล์เรสซิสต์จะยังคงกระชับหลังการอบแข็ง
ซ็อกเก็ตอินเทอร์เฟซถูกออกแบบมาเพื่อให้ใช้งานกับเครื่องมือ: พื้นที่ขนาดกะทัดรัด การติดตั้งมาตรฐาน และการติดต่อทางไฟฟ้าที่มั่นคง ผลตอบแทนคือการผลิตที่สม่ำเสมอจากล็อตหนึ่งไปยังอีกล็อตหนึ่ง
ทำไมแหล่งความร้อนนี้จึงมีความสำคัญ
นี่คือความร้อนที่คุณพึ่งพาสำหรับขั้นตอนที่ไม่สามารถทำผิดได้: การอบแห้งเวเฟอร์ที่ป้องกันรอยน้ำ การอบนุ่มที่กำหนดความหนาและการยึดติดของเรสซิสต์ และการบ่มที่ล็อคแพทเทิร์นก่อนการกัด
ความแม่นยำมีความสำคัญเพราะการอบมากเกินไปจะทำให้มิติที่สำคัญเปลี่ยนไป และการอบน้อยเกินไปจะทิ้งตัวทำละลายไว้—จากนั้นคุณอาจพบกับการหลุดลอกหรือทั้งสองอย่าง
วิธีอินฟราเรดของเราลดความเฉื่อยทางความร้อน ช่วยให้เวลาการผลิตสั้นลง และลดจำนวนอนุภาคในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 หน่วยทำงานได้มากกว่า 5,000 ชั่วโมงโดยมีการลดผลผลิตน้อยกว่า 5% ซึ่งหมายถึงการเปลี่ยนหลอดน้อยลงและเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดน้อยลง
รายละเอียดที่ช่วยป้องกันไม่ให้เกิดปัญหา
อินฟราเรดให้ความเร็วและความสม่ำเสมอ แต่ยังต้องการการจัดการความร้อนที่มีระเบียบ
ติดตั้งซ็อกเก็ตด้วยระยะห่างที่กำหนดเพื่อไม่ให้ส่วนประกอบใกล้เคียงเกิดความร้อนมากเกินไป และตรงกับพลังงานของเครื่องส่งสัญญาณกับแรงดันไฟฟ้าและโปรไฟล์การระบายความร้อนของเครื่องมือ
วางแผนการทำงานการตั้งค่าเบื้องต้นสั้นๆ เพื่อปรับแต่งโปรไฟล์การอบให้ตรงกับสแต็คเรสซิสต์ของคุณ เมื่อปรับได้แล้ว หน้าต่างกระบวนการจะคงที่ คาดเดาได้ และง่ายต่อการรักษา