ในโรงงานผลิตชิป การควบคุมอุณหภูมิของวัสดุที่ใช้ในกระบวนการผลิตไม่ใช่เรื่องที่สามารถเลือกได้ตามใจชอบ แต่เป็นสิ่งสำคัญที่จะกำหนดว่าผลิตภัณฑ์จะสามารถผลิตได้หรือไม่ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 2°C ในระหว่างกระบวนการอบ อาจส่งผลให้คุณภาพของชิปเสียหายได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับการประมวลผลกราฟีนขึ้นมา เพื่อขจัดความไม่แน่นอนเหล่านี้ออกไป
สิ่งที่สำคัญจริงๆ ในแง่เทคนิค
หลอดไฟเหล่านี้สามารถปล่อยแสงอินฟราเรดที่มีความถี่เฉพาะ เพื่อให้เกิดการควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ ทำให้อุณหภูมิบนพื้นผิวของวัสดุมีความสม่ำเสมอภายในช่วง ±0.1°C นอกจากนี้ หลอดไฟเหล่านี้ยังมีความสามารถในการปล่อยแสงอย่างสม่ำเสมอเป็นเวลาหลายพันชั่วโมง โดยมีการลดลงของกำลังไฟฟ้าน้อยกว่า 5%
หลอดไฟเหล่านี้ยังมีโครงสร้างที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานในห้องสะอาด โดยมีความสามารถในการลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ได้ และยังมีระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ ดังนั้นจึงสามารถปรับพลังงาน แรงดันไฟฟ้า และขนาดของหลอดไฟให้เหมาะสมกับอุปกรณ์ที่มีอยู่ได้ ทำให้สามารถนำมาใช้งานได้ทันที โดยไม่จำเป็นต้องออกแบบใหม่ทั้งหมด
เหตุใดวิธีนี้จึงมีประสิทธิภาพในกระบวนการลิโธกราฟี
ในกระบวนการลิโธกราฟี จำเป็นต้องมีกระบวนการอบที่ช่วยขจัดสารละลายออกไปโดยไม่ทำให้วัสดุเกิดการหลอมเหลว และต้องมีกระบวนการอบที่ช่วยให้วัสดุแข็งตัวโดยไม่มีปัญหาอื่นๆ เกิดขึ้น หลอดไฟของเราสามารถทำให้อุณหภูมิถึงจุดที่ต้องการได้อย่างรวดเร็ว และยังสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ ทำให้วัสดุแต่ละชิ้นได้รับอุณหภูมิที่เท่ากัน
สิ่งนี้ช่วยให้ได้ความแม่นยำในการวางตำแหน่งของชิปได้ดีขึ้น ลดการต้องทำการผลิตใหม่ และช่วยให้สามารถวางแผนเวลาการผลิตได้ดีขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะระบบจะทำงานเมื่อมีความจำเป็นเท่านั้น และยังสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้ไม่มีการใช้พลังงานมากเกินไป นอกจากนี้ อายุการใช้งานของหลอดไฟที่ยาวนานยังช่วยลดความจำเป็นในการเปลี่ยนหลอดไฟบ่อยๆ และลดเวลาในการบำรุงรักษาอีกด้วย
สิ่งที่คุณควรรู้ก่อนใช้งาน
หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้เข้ากับมาตรฐานของอุปกรณ์ semiconductor ระดับสากล และเป็นทางเลือกที่มีประสิทธิภาพเทียบเท่ากับหลอดไฟอินฟราเรดแบบฮาโลเจน/ควอตซ์ทั่วไป การติดตั้งหลอดไฟเหล่านี้จำเป็นต้องพิจารณาถึงรูปร่างของกระจกสะท้อนแสงและระยะทางของแสงด้วย หากคุณเปลี่ยนหลอดไฟโดยไม่ตรวจสอบระยะทางของแสง ก็อาจทำให้บริเวณที่มีอุณหภูมิสูงเปลี่ยนที่ได้
คุณควรวางแผนการติดตั้งหลอดไฟให้เหมาะสมกับโครงสร้างของห้องผลิต การไหลของน้ำที่ใช้ในการระบายความร้อน และระบบควบคุมอื่นๆ เพื่อให้สามารถลดจำนวนอนุภาคต่างๆ ได้ และช่วยให้ห้องผลิตสามารถทำงานได้อย่างต่อเนื่อง