ウェーハヒーターでの電力の無駄遣いをやめましょう。
半導体製造において、電力の無駄遣いは単にコストがかかるだけでなく、設計上の問題を示しています。ウェーハの表面を加熱する際には、「より多くの熱」を得るだけでは不十分です。そのエネルギーを正確に目的の場所に送り込む必要があります。
だからこそ、私たちは金メッキされた反射板を使用します。これにより、ヒーターから出るすべてのエネルギーが確実に目的の場所に届きます。
なぜ金なのか？
一般的な反射板は、赤外線エネルギーをあちこちに散乱させてしまいます。しかし、金はそうではありません。赤外線スペクトル全体にわたって非常に高い反射率を持っているため、熱を吸収することはありません。代わりに、その放射エネルギーを再びウェーハに戻します。
これにより、より精密な温度制御が可能になります。最良の点は、電源の出力を増やすことなく、目標温度に迅速に到達できることです。
配線の問題
次に配線の問題です。
私たちはテフロンで絶縁された配線を使用しています。正直、他の材料では耐えられないからです。これらのヒーターは極度に高温の環境に置かれています。PVCやシリコンを使った場合、それらは溶融したりガスを放出したりしてしまいます。クリーンルーム内で汚染が起こるのは避けたいところです。
テフロンは化学的に安定しており、高温にも耐えられます。反射板が限界に達しても、電気的な接続をしっかりと維持できます。
トレードオフ
ただし、注意点もあります。
このように強烈に熱を集中させると、急激な温度勾配が生じます。ウェーハが中心から数ミリでもずれていると、ホットスポットが発生します。これは非常に精密な作業が求められます。
ランプの位置を正確に調整する必要があります。また、反射板の周辺で生じる熱を処理できる十分な性能の冷却ファンを用意する必要があります。
結局のところ、私たちが目指すのは、消費電力を抑えつつ、ウェーハの表面温度を上げることです。重要なのは、放射エネルギーを正確に集中させることです。より多くのランプを使う必要はなく、既存のランプをより効果的に活用するだけで十分です。