なぜクリーンルーム用のトロリーに赤外線を採用するのか？
スマートファクトリーを構築する際、従来の対流式加熱ではもはや不十分だと気づくでしょう。それは非効率的です。
私たちは最近、トロリー用ヒーターとして赤外線システムを採用しています。その理由は簡単です。赤外線は直接対象物を加熱するからです。部屋全体の空気を温めるためにエネルギーを無駄にする必要がありません。
技術的な側面
半導体を加熱する際には短波長の赤外線を使用します。なぜかというと、素早く温度が上昇するからです。ウェーハを移動させる際には、輸送中に温度が下がってはいけません。
「スマート」に運用するために、これらの装置をPLC制御のPIDコントローラーに接続しています。そうすれば、消費電力や表面温度をリアルタイムで把握できます。これらのデータはデジタルツインに直接送信されるため、現場で何が起こっているかを実時間で把握できます。
クリーンルームの問題への対処
クリーンルームでは、たった一つの粒子でも問題になります。
そのため、高純度の石英製のケースを使用します。そうすれば、ガスの放出を防げます。また、スペースも貴重です。高ワット密度のランプを使用すれば、抵抗線コイルを使う場合よりもずっと少ないスペースで同じ程度の熱を得られます。
さらに、高圧電源を使えば、より細いケーブルを使用できます。そうすることで、トロリー全体が軽くなり、移動しやすくなります。
欠点（完璧なものはない）
ただし、強力な赤外線は危険です。
シャーシの保護が不十分だったり、空気の流れが悪かったりすると、「ヒートソック」という現象が起こります。つまり、周囲の電子機器が過熱してしまいます。これは誰にとっても悪い状況です。そのため、冷却ファンやヒートシンクを適切に使って、この問題に対処する必要があります。
しかし、これらをうまく調整すれば、ウォームアップ時間が短縮され、ハードウェアもよりシンプルになります。そして、現代のファクトリーで求められる高速な反応性を持つシステムが実現できます。