MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

空気を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 MEMSの製造に携わったことがある人なら、ウェーハを乾燥させる際の苦労がどれほど大変かご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。ウェーハを完全に乾燥させ、残留物を残さないようにしたいけれど、単純に熱を当ててし...