ヒーターが真空環境を台無しにするのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業している場合、粒子の飛散や化学物質の放出という問題はよく知られています。わずかな汚染物質でも、全体の製品が台無しになってしまいます。
問題は、一般的なヒーターではこのような状況に対応できないことです。彼らは接着剤や安価なコーティング、または加熱によってすぐに壊れてしまう金属を使用しており、その結果、汚染物質が真空チャンバー内に入ってしまいます。
私たちは、より良い方法を見つけました。それが高純度の合成石英インフラレッドランプです。
秘密は材料にあります
私たちは融成シリカ石英を使用しています。これは非常に純度が高いため、加熱時に揮発性有機化合物が漏れ出る心配はありません。また、普通のガラスとは異なり、温度変化が激しくても割れることはありません。さらに、組み立て時に使用されるあらゆる有機系接着剤も排除しました。なぜかというと、真空状態では、ヒーターが静かに動作し続ける必要があるからです。ガスの漏れもなく、ウェーハも破損せず、面倒もありません。
真空環境での問題への対処法
真空状態では、放射熱しか利用できません。空気がないため、ランプの表面が急速に熱くなってしまいます。
私たちは、高いパワー密度を持つランプを開発しました。これにより、目標温度に素早く到達でき、工程の時間を大幅に節約できます。
ただし、注意点があります。熱遮蔽材を確認してください。もし放射熱がランプの外殻に戻ってくると、エレクトロードが破損してしまいます。
実際の使用におけるポイント
私たちは標準的なコネクタを使用しているため、ほぼそのまま交換できます。
しかし、最も危険な部分は、石英管と電気配線の間の接続部です。そこが漏れの原因になります。これを解決するために、空気を遮断し、真空状態を維持する特殊なシール材を使用しています。
最後に、高純度の石英は化学的には強いですが、物理的には脆いです。もし真空ポンプが激しく振動すると、時間が経つにつれて微細な亀裂が生じる可能性があります。
そのため、緩衝機能のあるマウントブラケットを使用することをお勧めします。小さな工夫ですが、ランプの寿命を大幅に延ばすことができます。