نگهداری محیط کار در سطح کلاس ۱۰۰ از نظر تمیزی
اگر شما ویفرهای سیلیکون را در محیط کلاس ۱۰۰ گرم میکنید، قطعاً از مشکلات ناشی از آزاد شدن گازها آگاه هستید. حتی یک تکه کوچک از مواد مذکور یا یک مولکول VOC میتواند باعث از بین رفتن کل محموله شما شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، ما دیگر به استفاده از عناصر گرمایشی معمولی روی نیاوردیم؛ در عوض، از لامپهای IR سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم.
چرا کوارتز؟
در واقع، عناصر گرمایشی پوشیده شده با فلز، با گذشت زمان دچار اکسیداسیون یا پوستهپوسته شدن میشوند؛ این امر میتواند در یک محیط تمیز، فاجعهبار باشد. کوارتز مورد استفاده ما آنقدر خالص است که اجازه نمیدهد یونهای فلزی جابجا شوند.
علاوه بر این، این روش بدون تماس فیزیکی است؛ تشعشعات IR مستقیماً به سطح ویفر برخورد میکنند. هیچ تماس یا سایش فیزیکی وجود ندارد؛ صرفاً انرژی تمیز و مستقیمی وجود دارد.
رویکرد «صفر آلودگی»
ما تمام مواد غیرضروری را حذف کردیم؛ هیچ چسب، هیچ پلیمر ارزانقیمتی… هیچ چیزی که بتواند گاز یا ذراتی را آزاد کند. تمام درزها نیز از نظر شیمیایی بیاثر هستند.
همچنین، ما زمان زیادی را صرف بررسی مسائل مربوط به انبساط حرارتی کردیم؛ این لولهها در هنگام استفاده مداوم، ترک نمیخورند.
اما یک نکته مهم وجود دارد: وقتی این لامپها با توان بالا کار میکنند، بسیار داغ میشوند؛ بنابراین مطمئن شوید که سیستم خلا یا جریان هوای شما میتواند این گرما را تحمل کند؛ در غیر این صورت، بدنه لامپها دچار اضافه گرما خواهد شد.
نصب لامپها در فرآیندهای تولید
ما ابعاد لامپها را به گونهای در نظر گرفتیم که بتوانند به راحتی در محفظههای فرآوری موجود قرار بگیرند. این لامپها به عنوان جایگزینهای مناسب طراحی شدهاند؛ بنابراین شما مجبور نخواهید بود ساعتها منتظر بمانید تا فرآیند تولید ادامه یابد.
همچنین، از آنجایی که از مواد با خلوص بالا استفاده میکنیم، شما شاهد آن اتفاق آزاردهندهی تیره شدن سطح شیشه نخواهید بود؛ انتقال تشعشعات IR نیز در طول زمان پایدار خواهد بود.
تا زمانی که منبع تغذیه شما پایدار و بدون سروصدا باشد، شما میتوانید یک الگوی حرارتی یکنواخت در سراسر ویفر داشته باشید. این کار بسیار ساده است.