متوقف کردن گرم کردن هوا: روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای MEMS
اگر تجربهای در فرآیند تولید MEMS داشتهاید، میدانید که خشک کردن ویفرها چقدر دشوار است. این کار نیاز به تعادل خاصی دارد؛ شما میخواهید که ویفرها کاملاً خشک و بدون هیچ باقیماندهای باشند، اما نمیتوانید آنها را با حرارت زیاد گرم کنید؛ چون این کار باعث تغییر شکل کل ساختار ویفر میشود.
بیشتر افراد، ویفرها را در فرهای معمولی قرار میدهند. مشکل اینجاست که این فرها همه چیز را گرم میکنند؛ هوا، دیوارهها، بدنه فر… اما ویفر را گرم نمیکنند. این کار باعث هدررفت انرژی میشود، و برای کسانی که مسئول نگهداری فرها هستند، واقعاً یک کابوس است. هیچ چیز به اندازه ترس از لمس دیوارههای فر که هنوز به اندازه کافی گرم هستند، وحشتناک نیست.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز با امواج کوتاه روی آوردیم.
چگونه کار میکند؟
میتوانید آن را اینطور درک کنید: روش گرمایش تقویتی مانند گرم کردن یک اتاق با هیتر است؛ اما روش مادون قرمز مانند استفاده از چراغ قوه، اما با حرارت، است. انرژی از الیاف لامپ به صورت مستقیم به سمت ویفر منتقل میشود. از آنجایی که حرارت به صورت هدفمند اعمال میشود، انرژی بیشتری برای گرم کردن هوای اطراف ویفر هدر نمیرود. نتیجه این است که ویفر حرارت مورد نیاز خود را دریافت میکند، اما سطح خارجی ویفر همچنان سرد باقی میماند.
تنظیم پارامترها
ما معمولاً از لامپهای هالوژنی با توان بالا استفاده میکنیم. از کوارتز استفاده میکنیم چون اجازه میدهد امواج کوتاه از بین آن عبور کنند، بدون اینکه انرژی را جذب کند. این امر باعث ایجاد تراکم انرژی بالا میشود، که برای خشک کردن سریع ویفر ضروری است.
اما مشکل اینجاست: زاویه تابش. باید زاویه تابش را دقیقاً تنظیم کرد؛ اگر تنظیمات نادرست باشد، دیگر ویفر گرم نخواهد شد، بلکه دیوارههای فر گرم خواهند شد. این همان چیزی است که ما سعی میکنیم از آن جلوگیری کنیم. تنظیمات دقیق بسیار مهم است.
واقعیت نصب
این کار به این سادگیها نیست. لامپهای مادون قرمز با توان بالا، جریان الکتریکی زیادی مصرف میکنند. اگر منبع تغذیه شما برای مقابله با این جریان اضافی آماده نباشد، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد.
همچنین، هنگام کار با این لامپها باید مراقب باشید؛ این لامپها بسیار حساس هستند. یک حرکت نادرست میتواند باعث خرابی لامپ شود.
برای ساده کردن کار، پیشنهاد میکنیم از کانکتورهای استاندارد استفاده کنید؛ این کار باعث میشود که لامپها به راحتی قابل تعویض باشند. فقط باید مراقب زمان رسیدن به دمای مورد نیاز باشید؛ اگر توان لامپ را بیش از حد افزایش دهید، الیاف لامپ خیلی سریع خراب خواهند شد. مهم این است که تعادل مناسبی بین سرعت و عمر لامپ برقرار کنید.