دیگر اجازه ندهید انرژی بیهوده در گرمکنهای ویفرها هدر رود!
در فرآیندهای تولید نیمههادی، هدر رفتن انرژی نه تنها باعث هزینههای زیاد میشود، بلکه نشانهای از طراحی ضعیف نیز هست. وقتی سطح ویفر را گرم میکنید، منظورتان فقط ایجاد گرمای بیشتر نیست؛ بلکه لازم است که انرژی دقیقاً به جای مناسب خود برسد.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود که هر وات انرژی صادر شده از عنصر گرمکن، دقیقاً به سمت هدف برسد.
چرا طلا؟
بازتابندههای معمولی، انرژی مادون قرمز را در همه جا پراکنده میکنند. اما طلا این مشکل را حل میکند؛ زیرا ضریب بازتاب بالایی در طیف مادون قرمز دارد. به عبارت دیگر، طلا گرما را جذب نمیکند، بلکه آن را دوباره به سمت ویفر بازتاب میدهد.
در نتیجه، گرمای تولید شده در نقاط مختلف ویفر یکنواخت میشود. بهترین نکته این است که میتوانید دمای مورد نظر را خیلی سریعتر به دست آورید، بدون اینکه نیازی به افزایش توان منبع تغذیه باشد.
مشکلات مربوط به سیمکشی
یکی دیگر از مشکلات، سیمکشی است. ما از سیمهای عایقبندیشده با تفلون استفاده میکنیم؛ زیرا در واقع هیچ ماده دیگری نمیتواند در چنین شرایط دمایی مقاومت کند. اگر از PVC یا سیلیکون استفاده کنید، آنها ذوب خواهند شد یا گاز تولید خواهند کرد؛ و آخرین چیزی که میخواهیم، آلودگی در اتاقهای تمیز است.
تفلون از نظر شیمیایی بیتأثیر است و میتواند در برابر گرما مقاومت کند؛ همچنین اتصالات الکتریکی را در شرایط دشوار نیز حفظ میکند.
معایب
اما یک مشکل وجود دارد: وقتی گرما را به این شکل تمرکز میکنیم، یک گرادیان حرارتی شدید ایجاد میشود. اگر ویفر کمی از مرکز خارج شود، نقاط گرم ایجاد خواهد شد. این کار نیاز به دقت زیادی دارد.
بنابراین باید موقعیت لامپها را با دقت تنظیم کنید؛ همچنین باید مطمئن شوید که فنهای خنککننده، قدرت کافی برای مقابله با گرمای ایجاد شده در اطراف بازتابنده داشته باشند.
در نهایت، هدف ما این است که دمای سطح ویفر را بالا ببریم، در حالی که میزان مصرف انرژی را کاهش دهیم. همه چیز به تمرکز انرژی بستگی دارد؛ نیازی به استفاده از لامپهای بیشتری نیست؛ فقط باید از لامپهای موجود به شکل بهتری استفاده کنیم.