در خط تولید، ویفرهای SiC به قطر ۱۵۰ میلی‌متر در دستگاه لیتوگرافی قرار دارند و آماده فرآیند پختن رزیست فوتوگرافیک هستند. حتی کمترین تغییر در دما...

در خط تولید، پروفیل‌های حرارتی مربوط به فرآیند پختن رزیستورهای فوتوگرافی، چیزی اختیاری نیستند؛ بلکه تعیین‌کننده‌ی موفقیت یا شکست فرآیند تولید هستند....

روی خط، آن ویفر 300mm منتظر پخت نرم خود است—مرحله‌ای که پروفایل فوتورزیست را تثبیت می‌کند. انحراف 2°C کافی است تا ابعاد بحرانی را به هم بریزد و کل...