
将更多热量集中在真正需要加热的部位:晶圆固化处理
如果您正在运营晶圆固化生产线,那么您一定明白其中的难题。您需要让基材上的温度分布尽可能均匀,但同时又不想过度消耗电能。
问题在于:红外灯会向各个方向散发热量。如果没有合适的反射器,那实际上就是在加热机器的机身,而非产品本身。这样一来,一半的能量都被白白浪费掉了,甚至还没能作用于晶圆上。
为什么我们选择黄金
有些人会选择铝材,因为它的价格更低。但铝材会吸收过多的能量,而且当温度过高时,它就会失去作用。我们则选用高纯度的黄金涂层。因为黄金在反射红外光方面表现极佳,几乎能将所有辐射能量反射回晶圆上。这样一来,每消耗一瓦特电能,就能为晶圆提供更多的热量。此外,这种设计还能让热量均匀分布,从而避免出现局部过热的情况,确保晶圆能够得到稳定、均匀的固化处理。
智能的设计,更长的使用寿命
关键不在于材料本身,而在于其形状。我们通过将反射器设计成曲线形,从而将辐射能量集中到某个特定的区域。当热密度增加时,就可以降低光源的功率。这样,虽然仍能保持相同的固化速度,但光源的工作负荷却大大减轻了。这也就意味着,灯丝的损耗也会减少,从而不必频繁更换损坏的灯管。
需要权衡的成本
显然,黄金的价格并不便宜。相比抛光钢或铝材,它的初始投资要高得多。而且,还需要精心保养这些设备。如果黄金表面积聚了灰尘或化学物质,就会形成“热点”,导致能量被吸收而不是被反射,进而导致涂层脱落。因此,必须定期清洁这些设备,才能确保它们持续正常工作。
最后一点需要注意的是:由于热量会被集中到晶圆上,所以处理腔体内的温度可能会比平常更高。请确保您的冷却系统能够承受这样的负荷。