避免半导体生产设备中出现“过热墙”问题 大多数普通的加热元件都会向各个方向散发热量——也就是360度全方位散发热能。在半导体制造工厂里，这种情况简直就是一场噩梦。 当热量四处扩散时，昂贵设备的内部墙壁就会吸收这些热量。这样一来，设备就会出现“过热墙”现象。这不仅会浪费大量电能，还会对靠近设备的人构...

在制造车间，即使是稍微偏离的光刻胶烘烤也可能在你看到生产线之前扼杀产量。对于功率器件晶圆，热预算非常紧张——你的加热灯需要在每个周期、每批次中保持相同的温度。没有漂移。没有意外。 底层的重要性 我们在石英外壳内运行短波卤素元件，调节以实现快速、干净的辐射热。该系统的目标是晶圆级均匀性在±0.1°C...