功率器件晶圆加热灯

在制造车间，即使是稍微偏离的光刻胶烘烤也可能在你看到生产线之前扼杀产量。对于功率器件晶圆，热预算非常紧张——你的加热灯需要在每个周期、每批次中保持相同的温度。没有漂移。没有意外。 底层的重要性 我们在石英外壳内运行短波卤素元件，调节以实现快速、干净的辐射热。该系统的目标是晶圆级均匀性在±0.1°C...