Trong khu vực chế tạo wafer, người ta sử dụng các tấm wafer SiC có kích thước 150 mm, được đặt trong thiết bị in ấn, sẵn sàng để qua quy trình xử lý...

Trong quy trình sản xuất, các thông số liên quan đến việc nung phim photoresist không phải là yếu tố có thể tự chọn được; chúng chính là yếu tố quyết...

Trên dây chuyền, wafer 300mm đang chờ bước soft bake—bước khóa cấu hình photoresist. Chỉ một sai lệch 2°C cũng đủ làm sai kích thước quan trọng và...