Đui đèn hồng ngoại cho thiết bị wafer

Trên sàn wafer, sự trôi nhiệt trong quá trình tiền nung lớp nhạy sáng hoặc làm khô wafer không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ dây chuyền. Nó gây ra khuyết...