Trên sàn wafer, sự trôi nhiệt trong quá trình tiền nung lớp nhạy sáng hoặc làm khô wafer không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ dây chuyền. Nó gây ra khuyết...

Trên sàn sản xuất, một chu trình nung photoresist dù chỉ lệch nhẹ cũng có thể làm hỏng tỷ lệ thành phẩm trước khi bạn nhìn thấy nó trên dây chuyền....