Trên sàn wafer, sự trôi nhiệt trong quá trình tiền nung lớp nhạy sáng hoặc làm khô wafer không chỉ ảnh hưởng đến tốc độ dây chuyền. Nó gây ra khuyết...

Trên sàn sản xuất, một chu trình nung photoresist dù chỉ lệch nhẹ cũng có thể làm hỏng tỷ lệ thành phẩm trước khi bạn nhìn thấy nó trên dây chuyền....

Trên dây chuyền, wafer 300mm đang chờ bước soft bake—bước khóa cấu hình photoresist. Chỉ một sai lệch 2°C cũng đủ làm sai kích thước quan trọng và...