Op de productieafdeling ligt er een SiC-wafer van 150 mm in de lithografiecel, klaar voor verhitting met fotoresistent. Een temperatuurverschil van...

Op de productievloer kan een fotoresist-bak die zelfs maar licht afwijkt de opbrengst saboteren nog voordat u het op de lijn ziet. Bij power device...

Out on the line ligt die 300mm wafer te wachten op zijn soft bake—de stap die het photoresist-profiel verankert. Een drift van 2°C is al voldoende om...