Op de productielijn is thermische drift tijdens het verwerken van fotoresist geen academisch probleem. Het leidt tot variaties in de breedte van de lijnen, problemen met de hechting van het materiaal en een afname van de opbrengst. Er is dus behoefte aan een warmtebron die samenwerkt met het proces, in plaats van er tegenin te werken. Onze RTP-lampen leveren precies dat op.
We gebruiken infrarood-emitters met korte en middellange golflengten, in een kwarts-halogeenontwerp. Hierdoor vindt er een snelle en efficiënte energieoverdracht plaats. Dit zorgt voor een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C over de hele oppervlakte van de wafer. Bovendien wordt het proces betrouwbaar: het verwijderen van oplosmiddelen wordt goed gecontroleerd, de spanning op het materiaal blijft stabiel en de controle van de belangrijkste afmetingen blijft binnen de normen. Het systeem kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, waarbij er geen particules vrijkomen. Er wordt ook gebruik gemaakt van apparatuur voor continue monitoring en materialen met minimale uitstoot.
Dit is waarom het systeem effectief is in de praktijk. Tijdens het drogen van de wafer zorgt de snelle, contactloze verhitting ervoor dat vocht wordt verwijderd, zonder dat het oppervlak beschadigd wordt. Bij lithografie zorgt de lamp voor nauwkeurige temperatuurcontrole, waardoor defecten verminderen. Voor het harden van het materiaal zorgt de lamp voor consistente resultaten – meer wafers per uur, zonder dat de opbrengst afneemt.
De energieverbruik neemt af, omdat de energie rechtstreeks naar het materiaal en de wafer gaat, in plaats van worden gebruikt om de kamer op te warmen. De betrouwbaarheid van het systeem blijkt uit meer dan 5.000 uur gebruik, met minder dan 5% daling in de opbrengst. Hierdoor blijft de ongeplande stilstand minimaal.
Een paar praktische tips: bij installatie moet de grootte van de lamp en de connector worden aangepast aan het RTP-apparaat. Ook moet de optische verbinding goed worden gecontroleerd; anders zal de uniformiteit van de temperatuur verminderen. De lamp presteert het beste in een schone, droge omgeving, met regelmatige controle van de emissoren.
Het is niet gemakkelijk, maar de lamp heeft last van plotselinge spanningsschommelingen. Bescherm de stroomvoorziening, dan blijft de beschikbaarheid van het systeem hoog.