Op de productielijn zijn de parameters voor het verhitten van de fotorezistent niet zomaar een keuze – ze bepalen namelijk of er productie mogelijk is of dat er veel materiaal moet worden weggegooid. Een verschil van 2°C tijdens het zacht of hard verhitten kan ertoe leiden dat de kwaliteit van de producten verslechtert, of zelfs dat de hele lading niet meer bruikbaar is. We hebben onze infraroodlampen speciaal ontworpen om deze onzekerheden weg te nemen.
Wat technisch gezien belangrijk is
Deze lampen stralen near-infrarood licht uit, waardoor er een snelle en gecontroleerde warmtetoevoer mogelijk is. Hierdoor is de temperatuur over het hele oppervlak van de wafer gelijkmatig, met een variatie van maximaal ±0,1°C. De emitter van de lampen blijft duizenden uren lang stabiel in zijn prestaties – sommige lampen hebben al meer dan 5.000 uur gedraaid zonder dat de prestatie met meer dan 5% daalde.
De lampen voldoen aan de eisen voor gebruik in schone ruimtes (klasse 1–100). Er wordt geen stof gegenereerd, en de temperatuurstijging is voorspelbaar. De vermogenssterkte, spanning en afmetingen van de lampen kunnen worden aangepast aan de bestaande apparatuur, zodat ze gemakkelijk kunnen worden geïntegreerd.
Waarom dit werkt in de lithografie
In de lithografie is het belangrijk om een zachte verhittingsprocedure te gebruiken, zodat de oplosmiddelen kunnen worden verwijderd zonder dat er problemen optreden. Ook is het belangrijk om een harde verhittingsprocedure te hebben, zodat het materiaal goed kan worden gehard. Onze lampen bereiken de gewenste temperatuur snel, behouden deze temperatuur en koelen op een voorspelbare manier. Hierdoor krijgt elke wafer dezelfde thermische behandeling.
Dit resulteert in een betere precisie bij het bevestigen van de elementen op de wafer, minder herwerkingswerkzaamheden en cyclustijden die beter te plannen zijn. De energieverbruik neemt af, omdat het systeem alleen dan werd opgewarmd wanneer dat nodig was. Bovendien verkort de lange levensduur van de lampen de benodigde voorraden aan vervangende onderdelen en de tijd die nodig is voor onderhoud.
Wat je van tevoren moet weten
Deze lampen zijn ontworpen volgens internationale standaarden voor halfgeleiderapparatuur. Ze vormen een betrouwbare alternatief voor conventionele halogeen-/kwartskwartsinfraroodlampen. Bij installatie moet rekening worden gehouden met de geometrie van de reflectoren en de optische paden. Als je de lampen vervangt zonder rekening te houden met de brandpuntsafstand, zal de hete zone veranderen.
Plan je verbouwing dus goed, rekening houdend met de geometrie van de kamer, de koelvloeistofstroom en de veiligheidsmechanismen. Op deze manier kun je de hoeveelheid stof tot een minimum beperken en de beschikbaarheid van de apparatuur maximaliseren.