Stop met het verspillen van energie in je waferverwarmers
Bij het werken met halfgeleiders is het verspillen van energie niet alleen kostbaar – het is ook een teken van een slecht ontwerp. Wanneer je de oppervlakken van wafers verwarmt, gaat het er niet alleen om ‘meer warmte’ te creëren. De energie moet precies op de juiste plek terechtkomen.
Daarom gebruiken we reflectoren die bedekt zijn met goud. Hierdoor komt elke watt energie die van het verwarmingselement komt, echt bij het doel terecht.
Waarom goud?
Standaardreflectoren zijn onbruikbaar: ze verspreiden de infraroodstraling overal naartoe. Goud verandert dit. Het heeft een zeer hoge reflectievermogen in het infraroodspectrum. Met andere woorden: het neemt de warmte niet op, maar weerkaatst deze rechtstreeks terug naar de wafer.
Je krijgt zo een veel betere controle over de temperatuur. Het beste van alles? Je bereikt de gewenste temperatuur sneller, zonder dat je de stroomvoorziening hoeft aan te passen.
De problemen met de kabels
Dan is er nog het probleem van de kabels. We gebruiken kabels die geïsoleerd zijn met Teflon. Eerlijk gezegd werkt niets anders in zulke extreme hitteomstandigheden. Als je PVC of siliconen zou gebruiken, zouden deze smelten of gaan ze gassen afgeven. En dat is natuurlijk het laatste wat je wilt in een schone ruimte.
Teflon blijft chemisch inert en kan de hoge temperaturen aan. Hierdoor blijven de elektrische verbindingen stevig, zelfs wanneer de reflector tot zijn limiet wordt geduwd.
De nadelen
Er zijn echter ook nadelen. Wanneer je de warmte zo intensief concentreert, ontstaat er een sterke temperatuursverschil. Als de wafer niet precies in het midden ligt – zelfs maar een paar millimeter – ontstaan er hete punten. Het is dus een kwestie van precisie.
Je moet goed opletten hoe je de lampen plaatst. En zorg ervoor dat de koelventilatoren sterk genoeg zijn om de hitte rondom de reflector te verwerken.
Uiteindelijk willen we de oppervlaktemperatuur verhogen, terwijl we tegelijkertijd de energieverbruik proberen te verminderen. Het gaat erom de straling efficiënt te richten. Je hebt geen meer lampen nodig; je hoeft ze alleen maar op een slimme manier te gebruiken.