클래스 100 청정실을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100 청정실을 운영할 때는 “거의 깨끗한 상태”로는 부족합니다. 아주 작은 먼지 한 조각이나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 반도체 웨이퍼나 의료용 장치가 순식간에 손상될 수 있습니다. 이는 정말 끔찍...

제조 현장에서의 포토레지스트 베이킹은 준비 과정이 아닙니다. 이는 선 폭 제어를 위한 게이트키퍼입니다. 웨이퍼에서 2°C의 드리프트가 발생하면, 중요한 치수에 변동이 생깁니다. 중파 석영 히터 튜브는 드리프트가 시작되기 전에 이를 중지하도록 설계되었습니다. 기술적으로...