Below you will find pages that utilize the taxonomy term “통합된” FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기 리소그래피 공정에서는, 마지막 세척 과정에서 남은 얇은 물막을 그대로 유지한 채 FOUP이 이동합니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 변동한다면, 포토레지스트의 두께가 변하게 되고, 노출 작업이 시작되기 전에도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 따라서 습기를 제... Read more...
FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기 리소그래피 공정에서는, 마지막 세척 과정에서 남은 얇은 물막을 그대로 유지한 채 FOUP이 이동합니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 변동한다면, 포토레지스트의 두께가 변하게 되고, 노출 작업이 시작되기 전에도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 따라서 습기를 제... Read more...
