에너지 절약형 반도체 히팅
공장 내 탄소 배출 감소: 왜 우리는 적외선을 사용하는가?
요즘은 모두가 탄소 중립에 대해 이야기하고 있지만, 반도체 공장에서 일하는 우리에게는 그것이 쉬운 문제가 아닙니다. 오랫동안 사용해온 전통적인 저항식 가열 방식은 너무 낭비적입니다.
그래서 우리는 단파 적외선...
방수형 가열 테이블 IP44
방수 기능이 있는 난방 테이블을 일회용 쓰레기처럼 대하지 마세요.
IP44 등급의 방수 난방 테이블의 실제 상황은 이러합니다. 습기로부터 장비를 보호하는 기능은 훌륭하지만, 그래도 여전히 고장이 발생할 수 있습니다. 분주한 작업 환경에서는 적외선 램프가 고장 나는 것...
웨이퍼 가열을 위한 안전 거리
적절한 거리 유지하기: 웨이퍼 가열을 위한 적외선 기술
스마트 팹을 구축한다면, 이제는 구식의 열 전달 방식으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 속도가 너무 느리기 때문입니다. 그래서 우리는 고강도 적외선 시스템을 사용합니다. 이를 통해 온도를 빠르...
교체용 히팅 요소 IP65
왜 IP65 등급의 적외선 히터가 현대적인 욕실 리모델링에 최적의 선택인가?
샤워를 마치고 욕실로 나오면 차가운 공기가 마치 벽처럼 느껴지는 그 느낌, 아시죠? 우리 모두 한 번쯤은 그런 경험을 했을 것입니다.
그래서 점점 더 많은 디자이너들이 구식 램프형 히터 대신...
선형 적외선 가열 기구
300mm 웨이퍼를 처리할 때, 스케줄러는 베이크 프로파일에 약간의 오차가 생겼다고 해서 작동을 멈추지 않습니다. 반도도 정도의 오차만 있어도 선폭이 변하게 되고, 이는 결국 폐기물이 발생하는 결과를 초래합니다. 대류식 오븐은 클린룸 공간과 처리 시간 측면에서 문제를...
전력 소자 웨이퍼 가열 램프
반도체 제조 현장에서, 포토레지스트 베이크가 조금이라도 벗어나면 생산 수율에 치명적인 영향을 미치며 라인에서 바로 확인하기 어렵다. 전력 소자 웨이퍼의 경우 열 관리 한계가 엄격하여, 히팅 램프는 사이클마다, 로트마다 동일한 온도를 유지해야 한다. 온도 편차나 예기치...