レストラン用屋外ヒーター
狭いアパートのテラスや小さなレストランの席席には、無視できない問題があります。それは、無駄にできないスペースの問題です。床暖房は人々の足元をふらつかせる原因になります。また、大きな装置は視界を遮ってしまいます。そして、空気が冷えると、座る場所もなくなってしまいます。私たちは、このような問題を解決す...
FOUP フロントオープニング・ユニファイド・ポッド ドライヤー
リソグラフィーの工程では、FOUPは前回のクリーニング時に残った薄い水分をまだ含んだ状態で搬送されます。もしソフトベイクの過程で温度が安定しなくなると、フォトレジストの厚みが変化し、露光が始まる前から寸法制御が難しくなります。そのため、水分を除去し、温度を再現性良く維持できるFOUP用ドライヤーが...
省エネ電気ヒーター
多国籍チェーンが数十カ国で屋外用ヒーターを導入する際、仕様を適当に決めてしまってはいけません。間違った選択をすれば、お客さんが寒い思いをしたり、エネルギーが無駄になったり、各地域の規制によって導入が遅れたりします。そのため、私たちのCE認証を受けた赤外線電気ヒーターが、グローバルな調達チームによっ...
IP65防水ヒーター
気温が下がるときに、風の強いガレージで作業してみてください。最初に感じるのは寒さです。冷たい空気が指先や手首を痛め、指が硬直してしまいます。自動車整備士にとって、これは作業時間が長くなり、ミスも増え、余計な苦労を強いられることを意味します。一方、赤外線ヒーターは、周囲の空気ではなく、人や道具自体を...
ASMLリソグラフィーランプのスペア部品
製造現場では、ご存知の通り、フォトレジストを加熱する際に、わずか0.2℃の温度変動でも、回路幅の制御が乱れ、多くのウェーハが無駄になってしまいます。ですから、一定の熱的基準値を維持できるランプが必要です。当社のASML用リソグラフィーランプは、まさにそのような機能を提供し、工程設計における熱的条件...
ファブヒーター用電源ケーブル
ファブでは、細部にこだわることが生死を分けます。フォトレジストの加熱時に0.5℃のずれがあっただけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。パッケージング工程で1分間でも計画外の停止が発生すれば、全体のスケジュールが乱れてしまいます。
ヒーター用の電力ケーブルは、単なる付属品ではありません。...
スマート電気ヒーター
狭いアパートでは、床面積が非常に貴重です。大きなヒーターは、床面積を占有するだけでなく、転倒の危険も生みます。そのため、ヒーターを上に設置して、邪魔にならないようにします。壁掛け式のスマート電気赤外線ヒーターなら、生活の仕方を変えることなく、効率的に快適さを提供してくれます。
実際の仕組み この製...
直線型赤外線加熱エミッター
300mmプロセスでは、ベイクプロファイルにわずかなずれがあっても、スケジューラーは停止しません。半度ほどのずれでも、ウェハの線幅に影響を与え、最終的には廃棄処分につながる可能性があります。対流式オーブンは、クリーンルームのスペースや処理時間の面で制約をもたらします。一方、ホットプレートでは、エッ...
ファブ向け 最高評価のRTPランプ
製造現場において、フォトレジスト処理時の熱変動は単なる学術的な問題ではありません。それは線幅のばらつきや接着不良、歩留まりの低下といった問題として現れ、一回の処理ごとに悪化していきます。ですから、プロセスに逆らわず、むしろプロセスをサポートするような加熱源が必要です。私たちのRTPランプはまさにそ...
ガレージ用ヒーター
寒いガレージの環境は、単に不快感を与えるだけではありません。作業全体の効率を低下させてしまいます。手が工具で硬直してしまったり、接着剤や塗料が乾くのに時間がかかったりします。その結果、1日の作業時間が本来よりも長く感じられます。空間が冷たい状態のままだと、時間や集中力、作業のペースが失われてしまい...
電気ヒーター製造業者
エアコンの温度調節機能を使ってから、その場を離れてしまうと、部屋が温かくなるのを待つことになります。スマートホームでは、このわずかな待ち時間が、無駄なエネルギー消費やイライラを引き起こします。従来のヒーターは、部屋の温度が適切になった後も長時間にわたって熱を保持し続けるため、正確な温度制御が難しく...
グラフェン加工用赤外線ランプ
ファブの現場では、フォトレジストのベイクプロファイルは単なる好みの問題ではありません。それは、製品の歩留まりを左右する重要な要素です。ソフトベイクやハードベイクの際に2℃ほどの温度変動があるだけで、CDの位置がずれたり、スカムが発生したりして、全体の製品が廃棄されてしまうこともあります。私たちは、...
ニコンのステッパーランプの交換
リソグラフィーの工程において、出力や温度プロファイルが不安定なニコン製ステッパーランプを使用すると、光の強度が低下するだけでなく、露光精度も悪化します。その結果、ソフトベイクやハードベイクの過程でフォトレジストの状態が乱れ、線幅のばらつきや残留膜の発生、歩留まりの低下といった問題が生じます。これら...
TSV シリコン貫通ビア ヒーター
ファブの現場では、TSVのエッチングや充填処理において、温度変動の余地はありません。フォトレジストを焼成する際に2℃程度の温度変動があれば、重要な寸法の制御が崩れ、ビア内に空洞ができてしまいます。TSVヒーターにより、プロセス全体を通じてウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。
内...
AFM 原子間力顕微鏡 用ヒーター
AFMのステージ温度の変動は、単純に測定ノイズとして現れます。わずか0.5度の変動だけで、エッジの位置が正確に把握できなくなったり、フォトレジストのプロファイルが乱れたり、良品が再処理を余儀なくされたりします。私たちは、AFMホットエレメントを設計し、プローブとサンプルを所定の温度に保つようにしま...