在半成品加工过程中减少碳排放：为何防水红外灯如此有效
如果你想把工厂变成“绿色工厂”，那么你一定注意到了：在清洗和干燥过程中，有大量的能量被浪费掉了。大多数工厂仍然依赖大型对流烤箱或耗电量巨大的热风鼓风机。这无疑是一种极大的能源浪费。
我们找到了更好的方法。与其试图加热整个腔室内的空气，不如使用防水红外灯。这类灯泡能够直接用辐射能作用于晶圆表面的水分。这样不仅更高效，而且速度也更快。
应对湿度问题
在清洗阶段，环境中的湿度非常高。如果使用普通灯泡，它很快就会损坏。因此，我们必须使用专门的密封装置和防水外壳，确保水分不会接触到电气元件，否则设备就会停止工作。我们使用短波红外灯，因为它们可以瞬间传递热量。这样，晶圆只需几秒钟就能达到蒸发温度，整个过程就完成了。
不过，选择合适的功率也很重要。如果想要缩小干燥隧道的大小，就需要更高的功率密度。但请记住，将更多的功率集中在狭小的空间里，会产生大量热量，从而损坏控制电子设备。因此，必须确保冷却系统正常工作。
选择合适的设备
普通的石英管根本无法在这种环境中正常工作。由于潮湿和热冲击的影响，它们很容易破裂或失效。因此，我们选择厚壁石英管或经过特殊处理的石英管，以确保设备的稳定性。同时，我们还会仔细处理连接件，避免氧化或短路现象发生。
此外，我们还会注重灯泡的发射率。通过调整涂层，我们可以让波长与晶圆和清洗液相匹配。这样一来，能量就能真正作用于水中，而不是仅仅用来加热机器的部件。
减少碳足迹的好处
最棒的一点是，不再需要“预热”时间了。强制通风系统需要很长时间才能达到工作温度，而且通常会一直处于待机状态，消耗大量电能。而红外灯则可以立即开始工作，只有当晶圆放入后才会开始消耗电能。虽然这只是一个简单的改变，但它却能有效避免那些传统设备所存在的能源浪费问题。