Trong quy trình xử lý phim phơi sáng, hiện tượng dịch chuyển nhiệt độ không phải là vấn đề mang tính lý thuyết. Hiện tượng này biểu hiện qua sự thay đổi độ rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer, các vấn đề liên quan đến khả năng bám dính của phim phơi sáng, cũng như tỷ lệ sản phẩm có chất lượng cao giảm dần theo từng lần xử lý. Bạn cần một nguồn nhiệt hoạt động hỗ trợ quy trình xử lý, chứ không phải cản trở nó. Các chiếc đèn RTP của chúng tôi chính là giải pháp lý tưởng cho vấn đề này.
Chúng tôi sử dụng các nguồn phát tia hồng ngoại sóng ngắn và sóng trung, được thiết kế theo công nghệ quartz-halogen, giúp truyền năng lượng một cách nhanh chóng và hiệu quả. Điều này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên toàn bề mặt wafer, trong khoảng ±0,1°C. Quy trình xử lý cũng trở nên dễ kiểm soát hơn: việc loại bỏ chất lỏng được kiểm soát chặt chẽ, áp suất lên lớp phim phơi sáng cũng được duy trì ổn định, và các thông số kỹ thuật quan trọng vẫn được đảm bảo. Hệ thống này hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, nơi không có bất kỳ hạt bụi nào, và được hỗ trợ bởi hệ thống giám sát trực tiếp cùng các vật liệu có khả năng giảm lượng khí thải.
Đây chính là lý do tại sao hệ thống này hoạt động tốt trong môi trường thực tế. Trong quá trình sấy khô wafer, nguồn nhiệt từ đèn giúp loại bỏ độ ẩm mà không làm hỏng bề mặt wafer. Trong quá trình in ảnh, nguồn nhiệt này giúp kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, từ đó giúp loại bỏ các khuyết điểm trên bề mặt wafer. Trong quá trình đông cứng phim phơi sáng, nguồn nhiệt này giúp đảm bảo tốc độ xử lý ổn định, giúp xử lý nhiều wafer hơn mỗi giờ mà vẫn giữ được tỷ lệ sản phẩm có chất lượng cao.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm đi, vì năng lượng được truyền trực tiếp vào lớp phim phơi sáng và wafer, chứ không bị lãng phí vào việc làm nóng buồng xử lý. Độ tin cậy của hệ thống được thể hiện qua việc hoạt động trong hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sản phẩm có chất lượng cao vẫn ở mức dưới 5%, giúp giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động không mong muốn.
Một vài lưu ý thực tế: Khi lắp đặt, cần đảm bảo rằng kích thước của đèn và đầu nối phù hợp với thiết bị RTP, đồng thời kiểm tra xem đường truyền ánh sáng có được điều chỉnh đúng hay không. Nếu không, độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Đèn sẽ hoạt động tốt nhất trong môi trường khí sạch và khô, cùng với việc kiểm tra định kỳ các bộ phận phát tia của đèn.
Mặc dù khó khăn, nhưng đèn này không thích những sự thay đổi đột ngột về điện áp – hãy bảo vệ nguồn cung cấp điện, và bạn sẽ giúp hệ thống hoạt động ổn định hơn.