Trong quy trình sản xuất, các thông số liên quan đến việc nung phim photoresist không phải là yếu tố có thể tự chọn được; chúng chính là yếu tố quyết định xem sản phẩm có thể được sử dụng hay bị hủy bỏ. Chỉ cần có sự thay đổi nhiệt độ 2°C trong quá trình nung, điều đó cũng có thể khiến các chi tiết trên wafer bị biến dạng, gây ra nhiều vấn đề trong quy trình sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn hồng ngoại dành cho việc xử lý graphene nhằm loại bỏ những yếu tố phi ổn định này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Những bóng đèn này phát ra ánh sáng hồng ngoại có bước sóng phù hợp, giúp tạo ra sự ổn định về nhiệt độ trên bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Bóng đèn graphene có khả năng duy trì độ sáng ổn định trong hàng nghìn giờ hoạt động; các thiết bị này đã hoạt động hơn 5.000 giờ mà độ sáng chỉ giảm khoảng 5%.
Chúng được thiết kế để phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100, không tạo ra bụi bẩn nào, và có khả năng kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Công suất, điện áp và kích thước của chúng có thể được điều chỉnh để phù hợp với các cơ sở hiện có, vì vậy việc tích hợp chúng vào hệ thống hiện tại rất dễ dàng, không cần thiết kế lại từ đầu.
Tại sao chúng hiệu quả trong quy trình in ấn
Trong quy trình in ấn, cần có quá trình nung nhẹ để loại bỏ dung môi mà không gây ra hiện tượng tan chảy của vật liệu trên wafer. Những bóng đèn của chúng giúp đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng, duy trì nhiệt độ ổn định, và làm mát một cách dễ dự đoán. Nhờ vậy, mỗi wafer đều nhận được cùng một mức nhiệt độ.
Điều này giúp tăng độ chính xác trong quy trình in ấn, giảm số lần phải làm lại sản phẩm, và giúp lập kế hoạch thời gian sản xuất một cách chính xác hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi vì hệ thống chỉ hoạt động khi cần thiết, và nhiệt độ được duy trì ở mức ổn định. Thời gian hoạt động lâu của bóng đèn cũng giúp giảm nhu cầu về linh kiện thay thế và thời gian bảo trì.
Những điều bạn cần biết trước khi sử dụng
Những bóng đèn này được thiết kế để tuân thủ các tiêu chuẩn quốc tế về thiết bị bán dẫn. Chúng là giải pháp thay thế tốt cho các nguồn sáng hồng ngoại truyền thống. Khi lắp đặt, cần chú ý đến hình dạng của bộ phản quang và khoảng cách quang học – nếu thay thế bóng đèn mà không kiểm tra đúng khoảng cách tập trung ánh sáng, điều đó sẽ làm thay đổi vị trí vùng nóng.
Hãy lập kế hoạch lắp đặt sao cho phù hợp với cấu trúc của buồng sản xuất, dòng chảy chất làm mát, và các cơ chế an toàn. Như vậy, bạn sẽ giảm được lượng bụi bẩn và tăng thời gian hoạt động của thiết bị.