Sau khi wafer hoàn thành bước lithography, quy trình chuyển sang gắn die trên dây chuyền đóng gói. Trước khi bàn giao đó, phải loại bỏ hoàn toàn mọi dấu vết hơi ẩm trên bề mặt. Nếu để sót lại sẽ gây nguy cơ xuất hiện các khe rỗng trong lớp underfill, tách lớp tại giao diện liên kết, hoặc ảnh hưởng tiềm ẩn đến độ tin cậy mà không phát hiện được khi kiểm tra trên dây chuyền.
Bước sấy không phải là quá trình passive chờ đợi—mà là một thao tác nhiệt chủ động thiết lập điều kiện cho toàn bộ chuỗi quy trình bao phủ.
Điều quan trọng trong thực tế là kiểm soát nhiệt độ ổn định mà bạn có thể dựa vào, ngày này qua ngày khác. Các module sấy của chúng tôi duy trì độ đồng đều nhiệt trên wafer ở mức ±0.1°C trên toàn bộ bề mặt, hoạt động trong phòng sạch cấp Class 1–100, và không phát sinh hạt bụi trong suốt chu trình.
Chúng tôi sử dụng sấy hồng ngoại gần (NIR) để truyền năng lượng nhanh và không tiếp xúc, giúp bề mặt đạt nhiệt độ mục tiêu mà không làm nóng quá sâu vào khối vật liệu. Độ chính xác nhiệt đó được duy trì xuyên suốt các bước nung photoresist—soft bake và hard bake—đảm bảo kiểm soát kích thước quan trọng ổn định và giảm sự cố tạo cặn bẩn (scum). Tính lặp lại được tích hợp trong hồ sơ nhiệt, với thiết bị hoạt động ổn định 24/7 giúp dây chuyền vận hành liên tục.
Phần đơn giản là: bạn cần quản lý chặt chẽ ngân sách nhiệt sao cho bước gắn die và bao phủ cùng duy trì điều kiện bề mặt giống nhau, theo chu kỳ. Độ đồng đều cao giúp giảm tỷ lệ phế phẩm, rút ngắn thời gian đổi khuôn và tiết kiệm năng lượng theo từng lô.
Cửa sổ quy trình được mở rộng mà không làm giảm năng suất, và thiết bị lắp đặt thuận tiện vào các quy trình đóng gói hiện có.
Một vài lưu ý thực tế. Sấy NIR nhạy cảm với hệ số phản xạ và phát xạ của nền, do đó bạn phải tinh chỉnh hồ sơ nhiệt cho từng ngăn xếp sản phẩm.
Việc lắp đặt tập trung vào cân chỉnh luồng khí thải và bổ sung không khí khớp với luồng khí thiết bị, đồng thời căn chỉnh buồng với bộ xử lý để đảm bảo hiệu suất hạt bụi ở mức yêu cầu. Chúng tôi cung cấp dữ liệu ứng dụng và thông số giao diện để rút ngắn thời gian hiệu chuẩn.