Trong khu vực chế tạo wafer, người ta sử dụng các tấm wafer SiC có kích thước 150 mm, được đặt trong thiết bị in ấn, sẵn sàng để qua quy trình xử lý bằng hóa chất. Chỉ cần nhiệt độ thay đổi vài độ thôi cũng có thể làm sai lệch các thông số kỹ thuật quan trọng, gây tổn thất lớn về mặt chi phí. Vì vậy, bóng đèn sưởi không thể chỉ đơn thuần là nguồn nhiệt thông thường; nó phải hoạt động như một thiết bị kiểm soát nhiệt độ chính xác.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi đã thiết kế bóng đèn sưởi dành cho việc xử lý wafer SiC, sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số cao được đặt trong vỏ bằng thạch anh. Nhờ đó, bóng đèn có khả năng phản ứng nhanh và duy trì nhiệt độ ổn định. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer nằm trong khoảng ±0,1°C, còn độ chính xác của nhiệt độ giữa các lô sản xuất nằm trong khoảng ±0,5°C. Mật độ công suất của bóng đèn được điều chỉnh sao cho phù hợp với quy trình xử lý hóa chất trên wafer. Nhiệt độ do bóng đèn tạo ra vẫn ổn định sau 5.000 giờ hoạt động, với mức suy giảm công suất dưới 5%. Bóng đèn này cũng phù hợp với môi trường sản xuất sạch loại Class 1–100, với các liên kết được thiết kế kỹ lưỡng nhằm ngăn chặn sự xuất hiện của các hạt bụi trong quá trình hoạt động.
Tại sao bóng đèn này phù hợp với việc xử lý wafer SiC Quy trình xử lý wafer SiC đòi hỏi phải kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác, vì chi phí sản xuất mỗi tấm wafer khá cao. Bóng đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, tránh tình trạng nhiệt độ quá cao hoặc quá thấp, từ đó giảm thiểu lượng wafer bị hỏng và chi phí tái chế. Khả năng tăng nhiệt độ nhanh giúp rút ngắn thời gian xử lý, còn độ ổn định của nhiệt độ giúp tiết kiệm năng lượng. Thiết kế của bóng đèn này phù hợp với các tiêu chuẩn của thiết bị semiconductors quốc tế, vì vậy bạn có thể thay thế nó mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ thiết bị.
Một vài lưu ý thực tế Việc lắp đặt bóng đèn yêu cầu phải đảm bảo rằng giao diện kết nối của bóng đèn phù hợp với thiết bị, đồng thời kiểm tra đúng điện áp cung cấp. Nếu kết nối không đúng, nhiệt độ sẽ không ổn định. Bóng đèn này có thể hoạt động với các thiết bị xử lý tiêu chuẩn, nhưng bạn cần điều chỉnh góc phản xạ của bóng đèn sao cho phù hợp với kích thước wafer. Bạn nên tiến hành calibrate bóng đèn ngay sau khi lắp đặt để đảm bảo nhiệt độ hoạt động ổn định.