На виробничому полі теплові зміни під час обробки фоторезисту є серйозною проблемою. Вони проявляються у змінах ширини ліній на поверхні пластини, проблемах з прилипанням матеріалу та зниженні якості продукції. Щоб уникнути цих проблем, необхідний джерело тепла, яке буде сприяти процесу, а не заважати йому. Наші лампи RTP саме так і працюють.
Ми використовуємо інфрачервоні випромінювачі короткохвильового та середньохвильового діапазону, які розроблені для швидкої та ефективної передачі енергії. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини при значенні ±0,1°C, а також можливість стабільного контролю температурного профілю. Процес сушіння та в’ялення стає більш прогнозованим: видалення розчинників контролюється, напруга на плівці залишається стабільною, а контроль критичних розмірів здійснюється точно в межах допусків. Система працює в чистих кімнатах класу 1–100, без утворення частинок, завдяки постійному моніторингу та використанню матеріалів з низьким рівнем випаровування.
Ось чому ця система ефективно працює на практиці: під час сушіння пластин лампа швидко та без контакту з поверхнею видаляє вологу, не пошкоджуючи її. У процесі літографії лампа забезпечує точний контроль температури, що покращує якість поверхні пластини та зменшує кількість дефектів. Під час в’ялення лампа забезпечує стабільну продуктивність – можна обробляти більше пластин на годину, не жертвуючи якістю продукції.
Використання енергії зменшується, оскільки енергія потрапляє безпосередньо на плівку та пластину, а не йде на нагрів камери. Надійність системи підтверджується тим, що вона може працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%, що дозволяє мінімізувати час простою.
Кілька практичних порад: під час встановлення необхідно забезпечити правильне положення лампи та її з’єднувачів у пристрої RTP, а також перевірити правильність орієнтації оптичного шляху. Якщо це не дотримується, однорідність температури погіршується. Лампа працює найкраще в чистому та сухому середовищі, а також після періодичного контролю її стану.
Це складно, але лампа не любить раптові зміни напруги – захистіть живлення, і ви захистите надійність роботи системи.